판매용 중고 NIKON i12D #9068880

NIKON i12D
제조사
NIKON
모델
i12D
ID: 9068880
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6" Reticle 5".
NIKON i12D는 고급 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 로, 반도체 웨이퍼 (Wafer) 와 같은 기판에서 중요한 장치 기능을 정확하게 측정하고 이미지화할 수 있도록 설계되었습니다. I12D는 고해상도 I 라인 프로젝션 렌즈와 저에너지, 단파 프로젝션 렌즈를 모두 사용하는 고급 하이브리드 건 (hybrid-gun) 광학 장비를 갖추고 있습니다. 이 하이브리드 건 시스템을 통해 NIKON i12D는 웨이퍼에서 정확하고 빠르게 깊은 서브 미크론 기능을 이미징 할 수 있습니다. I12D는 또한 공기 베어링 및 모터 구동 X/Y 단계를 모두 사용하는 높은 정확도, 듀얼 스테이지 포지셔닝 장치를 갖추고 있습니다. 이 포지셔닝 기계는 자동화되어 X/Y의 경우 10nm, Z의 경우 1 미크론의 정확도로 정밀 간격 이동을 달성 할 수 있습니다. NIKON i12D는 또한 낮은 공간 주파수 이미지에서 높은 나노미터 해상도까지 거의 모든 애플리케이션을 수용 할 수있는 이중 노출이있는 LED 스트로브로 구성된 강력한 조명 도구를 갖추고 있습니다. I12D에는 brightfield 모드, darkfield 모드, sideview 모드, telecentric 모드 및 anular brightfield 모드를 포함한 다양한 작동 모드가 있습니다. 이러한 모드의 조합을 통해 중요 장치 (critical device) 기능을 정확하고 빠르게 이미지화할 수 있습니다. NIKON i12D에는 최대 256GB의 데이터를 저장할 수 있는 대용량 하드 드라이브를 갖춘 DIS (Digital Imaging Model) 라는 강력한 데이터 스토리지 자산이 있습니다. 이를 통해 여러 노출 실행에서 이미지를 저장할 수 있고, 큰 LCD 화면에서 손쉽게 볼 수 있습니다. 이미징 기능 외에도, i12D 는 정확하고 정확한 웨이퍼 (wafer) 정렬 및 이미징을 가능하게 하는 많은 정렬 및 제어 시스템을 내장하고 있습니다. 예를 들어, NIKON i12D에는 정확하고 신뢰할 수있는 포괄적 인 WMD (wafer misalignment detection) 장비가 있습니다. I12D 는 거의 모든 시스템/기판을 처리할 수 있으며, 업계 최고의 성능 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 이 제품은 고해상도 이미징 요구 사항 (예: 고급 반도체 소자 제조 공정) 에 이상적인 솔루션입니다.
아직 리뷰가 없습니다