판매용 중고 NIKON i12D #293823353

NIKON i12D는 NIKON Corp.에서 제조 한 웨이퍼 스테퍼입니다. I12D는 집적 회로, LCD 및 기타 MEMS 제품과 같은 반도체 장치 생산에 사용되는 고급 장비입니다. 안정적이고 효율적인 운영을 유지하면서 탁월한 성능과 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다 (영문). NIKON i12D (NIKON i12D) 는 하이브리드 단계 및 반복 패턴 스테퍼로, 긴 노출이있는 단일 웨이퍼에서 패턴을 스티칭할 수 있습니다. 저온 실행 플랫폼 (low-temperature running platform) 과 소규모 고객 설치 공간을 갖춘 고급 장비 설계로, 높은 생산성을 제공합니다. 웨이퍼 크기는 대규모 패널의 경우 150mm, 대형 생산의 경우 200mm입니다. 스테퍼는 6 배 축소 배율의 NIKON 브랜드 열 유형 스캐너로 구동됩니다. 이 시스템은 정확한 패턴화를 위해 E-Beam Lithography와 DFE Object Measurement 기술을 모두 지원합니다. 웨이퍼 스테퍼에는 웨퍼 (wafer) 에 패턴을 정확하게 배치하기 위해 내장 된 3 단계 오버레이 정렬 장치가 있습니다. 또한 웨이퍼의 품질을 확인하는 실시간 "스냅샷" 도 포함되어 있습니다. 이 기계는 또한 스텝을 수행하는 동안 수동 개입을 제거하기 위해 자동 코너를 인식합니다. 스캔 각도는 0 °, 90 ° 및 180 ° 사이에서 변경할 수 있으므로 원하는 패턴을 만들 수 있습니다. I12D는 신뢰성이 높으며 99% 이상의 효율을 가지고 있습니다. 오류 속도가 매우 낮은 탁월한 처리량을 제공합니다. 이 도구는 또한 고온 프로세스에 사용하기에 적합하며 통합 Smart QA (Smart QA) 소프트웨어를 통해 유연한 데이터 관리를 제공합니다. 자산은 웨이퍼 위치 자동 제어, 고속 검사, 기타 NIKON/Third Party Peripheral 통합 등의 기능으로 더욱 향상되었습니다. 전반적으로 NIKON i12D는 대용량 생산에 적합한 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 탁월한 성능과 정밀도를 안정적이고 효율적인 방식으로 제공하도록 설계되었습니다. 다양한 유용한 기능과 신뢰성 높은 모델 (model) 을 제공하여 다양한 어플리케이션에 적합합니다.