판매용 중고 NIKON i12D #293814692

NIKON i12D
제조사
NIKON
모델
i12D
ID: 293814692
Stepper.
NIKON i12D는 반도체 장치 및 기타 복잡한 마이크로 일렉트로닉 구성 요소 제작에 사용되는 다목적 웨이퍼 스테퍼입니다. 정확성과 반복성이 높은 정확하고 안정적인 결과를 제공하도록 설계되었습니다 (영문). I12D는 직접 및 다중 레벨 리소그래피 프로세스 모두에 사용할 수 있습니다. 고해상도 DMD (Digital Micrometer Display) 와 같은 고급 스캐닝 기능과 기능, 번거로운 작동을 위한 고급 진단 툴이 있습니다. NIKON i12D의 최대 필드 크기는 1.2 인치, 광원 파장은 최대 193nm입니다. 또한 자동 정렬 장비를 자랑합니다. 자동 정렬 장비는 단계 및 반복 노출과 복잡한 오프 축 (Off-Axis) 노출에 모두 유용합니다. 이 시스템은 하위 미크론 인쇄 해상도를 달성하도록 설계되었습니다. i12D 의 출력은 옵션 (in-situ chuck unit) 으로 향상 될 수 있으며, 이를 통해 객체가 처리될 때 모니터링될 수 있습니다. 이 기능은 미세 선 패턴 및 기타 복잡한 디자인 제작에 특히 유용합니다. 또한 NIKON i12D 는 Direct-Drive Stage 및 Intelligent Stage 와 같은 광범위한 전용 첨부 단계를 지원합니다. 이렇게 하면 조립 프로세스 중 인적 오류 (human error) 를 줄임으로써 전반적인 처리량 및 시스템 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 또한 i12D 는 고급 유지 보수 툴 (maintenance tool) 을 통해 가동 중지 시간을 최소화하고 디바이스의 수명을 최대화할 수 있습니다. 최대 4,000 개의 레시피를 저장하는 강력한 온보드 데이터베이스와 쉽고 효율적인 유지 관리를 위한 전용 레시피 추적 에셋 (전용 레시피 추적 에셋) 을 갖추고 있습니다. 이러한 모든 기능은 사용자가 사용할 수 있는 높은 수준의 제어 기능과 함께 NIKON i12D (i12D) 를 연구 및 산업 어플리케이션 모두에 이상적인 선택으로 만듭니다. 고품질 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 부품을 규모에 따라 제조할 수 있는 안정적이고 비용 효율적인 도구입니다.
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