판매용 중고 NIKON i12D #293808647

니콘 i12D (NIKON i12D) 는 반도체 칩에 대한 다양한 제작 프로세스를 수행하기 위해 특별히 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 렌즈 장비, 스테이지, 조명 시스템, 스캐너 컨트롤 및 상위 레벨 유닛으로 구성됩니다. 렌즈 머신은 완전히 자동화 된 광학을 가지고 있으며 다양한 레티클 크기를 수용 할 수 있습니다. 렌즈 도구는 서브 미크론 (sub-micron) 에서 미크론 (micron) 수준의 정밀도까지 광범위한 해상도를 지원합니다. 또한 고해상도 포토 마스크 및 레틱 마스크 사용을 지원합니다. "렌즈 '에셋 은 정밀 한" 정렬 공차' 로 광학 의 높은 정확도 와 정밀 한 정렬 에 최적화 된다. 스테이지 모델에는 고정밀도 자동 정렬 (automated alignment) 이 장착되어 있어 웨이퍼의 정확한 위치를 보장합니다. 대칭 X-Y 캐리어, N 축 (옵션) 및 쉽게 작동 할 수있는 동력 정렬 장비 모듈로 구성됩니다. 이를 통해 다양한 제작 프로세스에 대한 고정밀 웨이퍼를 정렬할 수 있습니다. 조명 시스템은 정확한 샘플 조명을위한 정확한 조명원입니다. 다양한 조명 모드를 지원하고 다양한 응용 프로그램에 다양한 광원을 제공 할 수 있습니다. 또한 자동 광원 선택 기능을 사용하여 최고의 photomask 품질을 제공합니다. 스캐너 제어는 자동 초점 장치, 자동 위치 지정 장치, 피드백 루프 제어 도구로 구성됩니다. 이를 통해 스캐닝 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 상위 수준 자산 (Higher Level Asset) 은 전체 장비의 성능을 모니터링하고 관리하는 데 필요한 제어 모델을 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 보고 시스템 (reporting system) 및 데이터 로깅 장치 (data logging unit) 로 구성됩니다. 전반적으로, i12D 웨이퍼 스테퍼는 정확한 정렬, 조명 및 스캐닝 프로세스를 사용하여 고정밀 반도체 칩을 제작하도록 설계되었습니다. 자동 초점, 자동 포지셔닝, 피드백 루프 제어 시스템 (feedback loop control system) 은 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 정확하고 정확한 결과를 제공합니다. 데이터 로깅 및 보고 시스템은 포괄적인 성능 기준을 제공합니다.