판매용 중고 NIKON i12D #293797473
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NIKON i12D는 i-line 시리즈의 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 (반도체) 와 작은 섬세한 (섬세한) 기능이 필요한 다른 제품의 생산에 이상적인, 정확하고 정밀한 이미징 장비다. I12D는 다중 레벨 정렬 4축 단계이며 이미지 최적화를 위해 NA 0.33입니다. 스테퍼는 단일 스캔, 고정밀도, 중첩 렌즈 배열을 사용하여 최고의 품질 생산 이미지 (production image) 를 위해 노출 필드를 함께 고정시킵니다. "렌즈 '배열 은 편광 오류 가 적게 나오도록 설계 되어 있으며 0.7" 미터' 까지 확대 할 수 있다. 웨이퍼 스테이지는 스캐너이며 현재 NIKON i12D (iline 시리즈) 에서 가장 높은 확대 해상도를 제공합니다. 스테퍼는 고유 한 알고리즘을 사용하여 각 노출 메쉬 포인트 (mesh point) 의 위치 정보를 하위 픽셀 정확도로 측정하여 사용자가 더 나은 측정 값을 제공합니다. 이를 통해 자동 결함 분석을 위해 패턴을 표준 메쉬 (표준 메쉬) 로 더 잘 정렬할 수 있습니다. 또한 스테퍼에는 빠른 로딩 및 포지셔닝 시스템이 있으며, 50 밀리미터 (50 밀리미터) 의 움직임 정확도로 최대 900mm 직경의 샘플을 로드할 수 있습니다. i12D의 또 다른 특징은 10 ms 내에 SSN (Signal-to-Shot Noise) 을 통합 할 수있는 개선 된 자동 노출 장치입니다. 이것은 높은 웨이퍼 크기에서 더 안정적인 처리량을 제공하며, 오프 센터 노출을 줄일 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 가장 까다로운 회로 설계를 위해 결함이 없는 이미지 제작이 개선됩니다. NIKON i12D는 포토 마스크 생산, LSI 생산, 평면 패널 디스플레이 (FPD) 생산, CMP (화학 기계 연마) 생산 및 MEMS 생산을 포함한 다양한 응용 분야에서 사용할 수 있습니다. 또한 Wafer Stepper는 운영 환경에서 매우 안정적이고 비용 효율적인 것으로 입증되었습니다. I12D 는 탁월한 정밀 이미징 머신으로, 사용자에게 엄격한 내결함성, 고화질, 빠른 처리량을 제공합니다. 고품질 마이크로 서킷 (microcircuit) 과 제품을 안정적으로 생산할 수 있는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 가 필요한 사용자에게 적합한 옵션입니다.
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