판매용 중고 NIKON i12D #293748648

NIKON i12D는 반도체 리소그래피에 사용되는 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 광학 성능을 최적화하고 리소그래피 노출 중에 경사 충실도를 균일하게 제공하도록 설계되었습니다. I12D (Stationary and Motorized Stage) 와 12 방향 열 유형 정렬 장비를 결합하여 웨이퍼 포지셔닝에서 최고 수준의 정확도를 제공합니다. 독특한 2 단계 보정 시스템은 레이저 위치의 약간의 공간 변위를 보상하여 정확한 정렬을 보장합니다. NIKON i12D는 0.93의 높은 수치 조리개, 5 nm 미만의 작은 나선형 초점 수차, 10 nm 이상의 초점 깊이를 특징으로합니다. 이는 펄스 (pulsed) 및 연속 웨이븐 리소그래피 (continuous wavene lithography) 옵션에 대해 높은 수준의 정확도를 보장합니다. I12D에는 특수 이미징 (special imaging) 과 초점 장치 (focusing unit) 가 장착되어 있으며, 초점 렌즈는 기울기 조정 메커니즘으로 기울어 뒤틀린 이미지를 제공합니다. 이렇게 하면 "와퍼 '의 조사 된 영역 의 각도" 오프셋' 때문 에 초점 변화 를 보충 하면서 여러 방향 으로 "마이크로미터 '해상도" 이미징' 을 할 수 있다. NIKON i12D에는 컴팩트 한 올인원 펄스 (All-in-One) 펄스 조사 기계도 있어 모든 조사 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 도구는 짧은 펄스 소스 리소그래피 및 고해상도 저전력 소스 리소그래피에 이상적입니다. i12D의 본체는 경량이지만 강력한 초고강도 알루미늄 합금으로 구성되어 최대 발열량 (heat dissippation) 및 강성 (rigidity) 을 제공합니다. 본체는 또한 3 단계 구조 아키텍처를 특징으로하며, 각 구성 요소는 작동 중 진동에서 분리됩니다. 전반적으로 NIKON i12D는 반도체 회로 패턴, 스탬프 리소그래피, 패턴 전송, 고해상도 이미징 및 정렬 정확도가 필요한 기타 프로세스와 같은 응용 분야에 이상적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 에셋은 소음 및 진동 수준을 최소화하면서 뛰어난 성능을 제공하므로, 정확한 이미지 배치와 품질을 제공합니다.