판매용 중고 NIKON i12D #293673209
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NIKON i12D는 일본 광학 및 이미징 회사 NIKON에서 제조 한 웨이퍼 스테퍼입니다. 현대 전자제품의 핵심인 "집적회로 칩 '을 만드는 데 사용되는 첨단 기기다. 이 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 뛰어난 프로세스 반복성으로 높은 정확도와 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 규모가 작고 성능이 우수하여 연구, 개발, 상업 생산 작업에 이상적입니다. I12D는 완전한 웨이퍼 스테퍼 정확도를 위해 0.1 미크론의 정밀도를 가진 200mm 웨이퍼 필드를 가지고 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 활성 DLP 정렬 기능이 있으며, 이는 완벽한 칩 가장자리를 보장하기 위해 웨이퍼 척 (wafer chuck) 과 활성 광학 패턴 왜곡 (active optical pattern distortion) 보정을 매우 정확하게 포지셔닝할 수 있습니다. NIKON i12D에는 MEMS, TEG 및 마이크로 머시닝과 같은 응용 분야에 이상적인 통합 광학 측정 시스템도 있습니다. 이 시스템은 다양한 정렬을 사용하며, 정교한 소프트웨어와 상호 작용하여 프로세스의 오버레이 (overlay) 와 정확도를 측정합니다. 그런 다음 측정값을 기록하여 스테퍼 매개변수를 최적화하는 데 사용합니다. 이렇게 하면 완성된 제품의 품질이 향상됩니다. I12D에는 또한 통합 된 특수 광학이 있으며, 이는 최첨단 광학으로 엔드 소프 마스크 나노 패턴을 감지하는 데 사용됩니다. 이것은 까다로운 단일 사진 분석 프로세스 단계에 적합합니다. 광학은 또한 17 초 노출 시간을 특징으로하며, 이는 반복 나노 스케일 기능에서 높은 처리량을 보장합니다. 안전성 측면에서 NIKON i12D 는 20mT 의 저압 (low pressure) 으로 실행되므로 청소실 환경에서 사용할 수 있습니다. 또한 실시간 방출 모니터와 무접촉 포토 마스크 유형 교환기를 보유합니다. I12D는 환경 및 건강 안전에 대한 최고의 표준을 충족합니다. 결론적으로 NIKON i12D는 웨이퍼 제작을위한 훌륭한 스테퍼입니다. 저압 (low pressure) 으로 높은 품질과 정확도를 제공하며 활성 DLP 정렬, 통합 광학 측정 및 특수 광학을 통합합니다. 프로세스 반복성 (repeativility) 과 항복 (yield) 을 향상시키고 높은 품질과 정확성을 보장하도록 설계되었습니다. 연구, 개발 및 상업 생산 운영에 완벽한 선택입니다.
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