판매용 중고 NIKON i12 #9285477

NIKON i12는 최첨단 반도체 사진 다이어그래피 작업을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 특허를 획득한 Calibrated Automation 구성 요소를 사용하여 소재 낭비를 최소화하면서, 위치, 노출 시간, 초점 (focus) 등 모든 프로세스 변수를 매우 정확하게 제어할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 다양한 디바이스 구성 및 프로세스 애플리케이션에 사용할 수 있으며, 모두 빠르고 정확하게 수행됩니다. NIKON I 12에는 매우 매끄럽고 낮은 진동 동작을 지원하는 독점 기본 프레임이 있습니다. 3 축 선형 모터 구동 단계는 0.01 미크론의 해상도를 갖는 X, Y 및 Z 움직임을 제공하며, 프로세스 요구 사항에 따라 나노미터 정확도로 독립적으로 조정할 수 있습니다. 또한, 기본 프레임은 임베디드 진동 격리 (embedded vibration isolation) 기술을 특징으로하며, 전체 사진 분석 프로세스 동안 높은 수준의 정확성을 보장합니다. I12 는 고급 옵틱과 강력한 광원 (light source) 의 조합을 활용하여 뛰어난 명암으로 고해상도 패턴을 구현합니다. 조정 가능한 거울은 투영 (projection) 필드를 전체 웨이퍼 위에 배치하고, 새로운 이미지 필터 장비는 광학 왜곡의 효과를 최소화합니다. 또한 스테퍼에는 백사이드 이미지 마스크, 디포커스 컨트롤 (defocus control), 포커스 시프트 정렬 (focus shift alignment), 백플레인 반사율 감소 등 다양한 노출 요구 사항을 보완하는 다양한 장치가 장착되어 있습니다. I 12의 노출 된 시스템에는 최적의 생산성을 보장하는 몇 가지 기능이 있습니다. 웨이퍼 레벨 웨이퍼 로더 (wafer-level wafer loader) 가 장착되어 있어 최대 8 개의 웨이퍼를 동시에 빠르고 쉽게 적재 할 수 있습니다. 이 장치에는 공구 성능을 모니터링하는 동작 제어 (motion control) 를 갖춘 CNC (Advanced Computerized Numerical Control Machine) 가 장착되어 있으며, 에셋의 잠재적 결함을 자동으로 보상하기 위해 zone 및 Sub-Zone 조정도 모니터링합니다. 또한, 최첨단 비전 모델은 각 웨이퍼에서 패턴 작성 전후 결함을 검사합니다. 전반적으로 NIKON i12는 고급 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 로, 반도체 사진 해설법 작업을 통해 신뢰할 수 있는 패턴 작업 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 통합 교정 자동화 (Calibrated Automation) 기술은 뛰어난 해상도, 정확도, 제어 기능을 보장하며, 다양한 기능을 통해 장치 구성요소의 자동화된 고속 생산을 보장합니다.