판매용 중고 NIKON i12 #9285252

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제조사
NIKON
모델
i12
ID: 9285252
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Stepper, 8" UDOF (Spec<0.05 um): 0.5 CD Range (Spec<0.05 um): 0.044 Coma (Spec<5%): 2.05% Main body Control rack Air conditioner Operation control box 2000 vintage.
니콘 이12 (NIKON i12) 는 오늘날 동적 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 개발되고 설계된 세계적 수준의 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 자동화 (Automation) 장비는 정밀한 정렬 기술을 활용하며, 고객에게 매우 정확하고 사용자 친화적인 장비로 대용량 장치 (Array of Device) 기능을 만들 수 있습니다. 이 시스템의 기능에는 고속, 정밀 정렬, 자동 패턴 인식, 향상된 오버레이 정확도, 작은 발 인쇄, 고급 프로세스 제어가 포함됩니다. NIKON I 12에는 빠른 속도, 정확성 및 안정성을 제공 할 수있는 정확한 설계 기능이 있습니다. 2 단계 광학 정렬 장치 (Optical Alignment Unit) 로 설계되어 이미징 평면 위의 웨이퍼를 매우 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이를 통해 디바이스 기능의 매우 정확한 배치 (placement) 와 다중 실행을 통한 피쳐 마이그레이션에 대한 향상된 공차 (tolerance) 를 제공합니다. 이 기계는 또한 자동 패턴 인식 (automatic pattern recognition) 및 정렬 보정 (alignment correction) 기능을 갖추고 있으며, 이 기능은 웨이퍼 패턴의 미세한 변형을 감지하고 그에 따라 배치를 조정하여 가능한 가장 높은 수율을 보장합니다. I12는 또한 작은 발 인쇄를 특징으로하며, 공간이 제한된 사용자에게 이상적인 선택입니다. 대규모 구성 요소를 컴팩트하고 휴대하기 쉬운 바디에 통합하여 설치 시간과 설치 비용을 절감합니다 (영문). 또한 고급 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 사용자는 노출, 초점, 괄호 (bracketing) 매개변수를 모니터링하고 조정하여 최상의 이미징 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 사용자는 작업 데이터를 저장할 수 있습니다. 작업 데이터를 빠르고 정확하게 리콜하여 생산성을 높일 수 있습니다. 전반적으로, I 12는 강력한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 반도체 생산 요구에 많은 제어 및 정확성을 제공합니다. 고급 프로세스 제어 기능과 함께 고속, 정밀한 정렬, 작은 설치 공간 (small footprint) 을 갖춘 이 툴은 모든 생산 시설에 적합한 선택 사항입니다.
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