판매용 중고 NIKON i12 #9204875

NIKON i12
제조사
NIKON
모델
i12
ID: 9204875
Wafer stepper.
NIKON i12는 최첨단 옵틱과 이미징 기술을 갖춘 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. NIKON Corporation 이 제작한 이 제품은 현재/향후 반도체 기술과 연동하도록 설계되었습니다. NIKON I 12는 최대 215nm의 이미징 해상도를 제공하며 TLI (Transmitted Light Illumination) 렌즈 기술을 사용하여 정확하고 일관된 색상과 높은 명암비를 가진 이미지를 제작합니다. 초당 최대 7 개의 스캔 샷 (Scan Shots per second) 을 지원하는 i12는 경쟁사보다 훨씬 빠른 속도로 분석 및 측정 기능을 제공합니다. I 12는 X, Y 및 Z 축을 따라 모든 움직임과 기존 기울기/기울기 동작을 자동으로 교정할 수 있는 고급 5축 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 이 고급 시스템은 오랜 노출 중에도 안정성과 정확성을 보장합니다. NIKON i12의 다른 특징으로는 위상 검출 및 수동 렌즈 틸트 제어를 갖춘 고정밀도 자동 초점 시스템 (high-accuracy autofocus system) 과 반복성 및 정확성을 위한 정밀 회전 및 기울기 단계 (tilt stage) 가 있습니다. 또한 NIKON I 12에는 각 구조의 개별 정렬이 필요 없이 비주기적 구조 (Aperiodic Structures) 의 깊이와 모양을 측정 할 수있는 통합 도량형 곡선 (Metrology Curve) 기능이 장착되어 있습니다. I12는 Probing, Scaling, Wafer-Mapping, Wafer-Level Inspection, Metrology-Curve Measurement 및 Lithography Inspection과 같은 여러 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었습니다. LSA 시스템과의 호환성은 물론, 측정 정확성과 반복성을 위해 강력한 32 비트 프로세서와 애플리케이션 소프트웨어 제품군을 갖추고 있습니다 (영문). 전반적으로 I 12는 뛰어난 이미징 및 모션 컨트롤 기술을 결합한 올인원 웨이퍼 스테퍼 (All-in-one wafer stepper) 로, 웨이퍼 프로세싱에서 높은 정확성과 효율성을 얻을 수 있습니다. 최첨단 옵틱, 이미지 처리 기술, 혁신적인 모션 컨트롤 (motion control) 기능을 갖춘 NIKON i12는 빠르고 정확한 웨이퍼 스테퍼 작동에 이상적인 제품입니다.
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