판매용 중고 NIKON i12 #9203809

NIKON i12
제조사
NIKON
모델
i12
ID: 9203809
Wafer stepper.
니콘 아이12 (NIKON i12) 는 반도체 산업의 비용을 절감하고 생산량을 개선하기 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 사용자가 정확도, 속도, 유연성을 높일 수 있는 최첨단 설계를 제공합니다. NIKON I 12는 2 차원 스테이지로 설계되어 고정밀 정렬과 넓은 시야를 모두 달성 할 수 있습니다. 또한 AOI (Auto-Orientation Inspection), 렌즈 정렬 및 결함이 없는 장치를 보장하는 병렬 이미징 기능을 포함한 다양한 노출 도구를 제공합니다. I12는 2048 x 2048 매트릭스 센서를 사용하여 웨이퍼 표면의 HD 이미지를 제공합니다. 분해능의 범위는 0.8m ~ 12m이며, 그 어느 때보 다 더 세밀하고 정확한 결과를 제공합니다. 온보드 고해상도 (High-Resolution) 옵틱은 노출 범위 전반에 걸쳐 최고 속도와 뛰어난 해상도를 제공합니다. 또한 고해상도 센서를 사용하면 배율을 낮춰 패턴 왜곡 (pattern distortion) 을 줄이고 이미지 균일성 (unifority) 수준을 높일 수 있습니다. I 12에는 정확한 탄성체 정렬 장비가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 쉽게 노출을 조정하고 수정하여 높은 수준의 정확성과 반복 (repeatability) 을 보장할 수 있습니다. 또한, 즉시 조정할 수 있는 다양한 노출 설정 (Fosure Setting) 을 사용할 수 있습니다. 이것은 결함 검사, 도량형 및 리소그래피와 같은 고급 프로세스에 특히 유용합니다. NIKON i12 에는 정확하고 정확한 다중 도메인 이미징을 가능하게 하는 고급 현장 스캐닝 (field scanning) 애플리케이션이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 여러 패턴 레이어가 웨이퍼 (wafer) 에 있을 때 가장 높은 수준의 정확도가 보장됩니다. 다양한 조정 가능 매개변수를 사용하면 반투명 패턴 (semi-transparent pattern) 뿐만 아니라 시뮬레이션 및 검증, 심층, 기하학적 편차, 입자 집합 등이 가능합니다. NIKON I 12는 자동 웨이퍼 처리 시스템을 사용하여 수동 정렬, 처리량 향상을 필요로 하지 않습니다. 반복 노출, 다중 웨이퍼, 자동 초점 등 다양한 수동/자동 기능을 사용할 수 있습니다. I12는 또한 내부 암실을 특징으로하며 여러 유형의 기판을 제공합니다. 마지막으로 I 12에는 직관적이고 사용자에게 친숙한 제어 인터페이스가 있습니다. 직관적인 설계를 통해 모든 장치 (unit) 매개변수를 신속하게 구성하고 관리하여 생산성을 극대화할 수 있습니다. 제어 시스템 (Control Machine) 에는 다양한 지원 패키지가 포함되어 있어 사용 환경을 손쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. NIKON i12는 제작자와 프로세스 엔지니어에게 탁월한 성능과 탁월한 화질을 제공합니다. 고급 설계와 탁월한 기능 덕분에, 모든 반도체 생산 라인에서 처리량 (Throughput) 과 수율을 향상시키기 위한 완벽한 선택은 NIKON I 12입니다.
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