판매용 중고 NIKON i12 #293825801
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NIKON i12 웨이퍼 스테퍼는 고급 레이저 투사 기술 (Advanced Laser Projection Technology) 과 고급 이미지 처리를 활용하여 반도체 레이어를 하나의 웨이퍼에 위치시키고 정렬하는 자동 장치입니다. 이 절차는 반도체 다이 (die) 와 같은 소형 전자 부품의 제조에 중요합니다. NIKON I 12 웨이퍼 스테퍼 (NIKON I 12 wafer stepper) 는 웨이퍼 레이어를 정확하게 정렬하기 위해 매우 높은 정밀도를 제공하여 더 빠른 생산 시간 및 더 높은 수율을 제공합니다. I12 웨이퍼 스테퍼에는 대형 석판화 장, 고해상도 이미징 및 강력한 조명 장비가 장착되어 있습니다. 스테퍼는 패턴성이 높은 최대 0.10 미크론 (100 nm) 의 해상도로 웨이퍼에 패턴을 쓸 수 있습니다. 자외선 레이저 (UV Laser) 와 제어 광학으로 구성된 고급 패턴 투영 시스템 (Advanced Pattern Projecting System) 은 웨이퍼의 세밀한 패턴을 투영하는 데 사용됩니다. 고급 이미지 처리 알고리즘과 통합 된 고급 CCD 장치 (Advanced CCD Unit) 를 조합하여 정확한 스테퍼 정렬을 추가로 수행합니다. ECU 컨트롤러는 웨이퍼 스테이지의 정확한 동작 제어를 허용하고 X-Y 좌표 측정 (X-Y Coordinate Measuring) 센서는 높은 정밀도 위치 판독값을 제공합니다. 고급 정렬 기능 외에도 I 12에는 인상적인 저항 코팅 기능이 있습니다. 각 배치의 모든 웨이퍼 (wafer) 에 동일한 두께와 저항량을 일관되게 코팅 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 디자인의 일부로 통합 된 CRC (Compact Resist Coater) 선박은 고정밀 코팅 제어를 가능하게합니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼의 고급 클리닝 기능과 강력한 프리 베이크 (Pre-Bake) 처리를 통해 처리량을 늘리고 설치/분해 시간을 최소화할 수 있습니다. NIKON i12는 직경이 큰 옵션을 사용하여 최대 8 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 제품은 Deep-UV 및 DUV 애플리케이션뿐만 아니라, 논리, 메모리, 이미지 센서 시장을 위한 첨단 최첨단 장치 프로세스에 적합합니다. 전반적으로 NIKON I 12 웨이퍼 스테퍼는 반 도체 산업을위한 귀중한 도구입니다. 고정밀 정렬 기능과 강력한 저항 코팅 머신은 일관성 있고, 안정적이며, 효율적인 웨이퍼 생산을 제공합니다. 또한 고급 클리닝 툴과 사전 베이크 처리 (Pre-Bake Handling) 기능을 통해 설치 시간을 최소화하고 처리 속도를 높일 수 있습니다. I12 는 광범위한 디바이스 구성 프로세스를 위한 완벽한 자동화 솔루션입니다.
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