판매용 중고 NIKON i12 #293603629

NIKON i12는 반도체 산업의 리소그래피 및 정밀 패턴화에 사용되는 높은 정확도 웨이퍼 스테퍼입니다. 하위 미크론 피쳐 크기와 평평하고 미세하게 패턴 화 된 표면을 생성 할 수 있습니다. NIKON I 12는 소프트 (soft) 및 하드 포토 마스크 (hard photomask) 와 모두 호환되므로 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. I12 (I12) 는 가공소재 판에 패턴을 투영하는 데 사용되는 강력한 광학 장비를 특징으로합니다. 이 시스템은 정렬 장치 (Alignment Unit), 원래 마스크를 위치에 둔 마스크 교환기 (Mask Changer) 및 고해상도 렌즈 세트로 구성됩니다. "렌즈 '는" 마스크' 의 망막 에 있는 양점 에 빛 을 집중 하도록 설계 되었다. 또한 축상 (on-axis) 정렬을 제공하므로 반점이 레티클 격자와 정확하게 정렬됩니다. I 12는 또한 정확도와 속도를 극대화하기 위해 설계된 다양한 기능을 자랑합니다. 예를 들어, CFCS (CircleField Correction Machine) 는 웨이퍼 스테퍼의 로터리 단계에서 흔들림을 보상합니다. 메트라 그리드 (MetraGrid) 라고하는 특수 그리드 생성기 (specialized grid generator) 도 있습니다. NIKON i12에는 직관적이고 자동화된 제어 자산을 제공하는 AMC (Advanced Machine Control) 도구가 포함되어 있습니다. 이 모델은 최대 정렬 정확도와 다양한 추가 기능을 달성 할 수 있습니다 (영문). 예를 들어, 마킹 패턴 (Marking Pattern) 의 모든 오류에 대해 자동으로 감지, 수정하고 최적의 노출 시간을 계산할 수 있습니다. NIKON I 12는 또한 최대 0.15 미크론의 포토 마스크 정렬 정확도를 제공합니다. 이를 통해 재현 가능한 패턴과 정확한 치수 제어가 가능합니다. 또한, 스테퍼에는 다중 (multi-axis) 모터 제어 기능이 있어 웨이퍼를 탐색할 수 있으며, 여러 노출 단계가 필요할 때 정확한 정렬 및 등록이 가능합니다. 이 기능은 또한 i12를 다중 노출 및 다중 레벨 리소그래피에 적합하게 만듭니다. 마지막으로 I 12 는 장기적인 안정성을 제공하도록 설계되었으며, 다양한 장애 감지 (fault detection) 및 예방 유지 관리 기능을 갖추고 있습니다. 또한 NIKON 의 유명 온라인 지원 서비스와 포괄적인 소프트웨어 애플리케이션 제품군과 함께 제공됩니다.