판매용 중고 NIKON i11D #9260431
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NIKON i11D는 빠르고 정밀한 웨이퍼 검사 및 처리를 제공하는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 반도체 및 포토 마스크 제조 산업의 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 높은 정확도, 해상도 및 반복 성을 제공합니다. NIKON I 11 D는 고급 웨이퍼 검사 및 처리가 가능합니다. 스테퍼의 필드 크기는 12 인치 (30.5cm) 대각선으로, 스테퍼가 더 큰 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 최대 캐리지 스트로크는 900mm (35.4인치) 입니다. 12 비트 색 깊이의 고해상도 카메라와 고해상도 카메라로, 정확도가 높은 경우 최소 0.15 도 (m) 이다. 이 기계는 또한 빠른 기판 로드 및 언로드를위한 신뢰할 수있는 자동 로더 메커니즘을 가지고 있습니다. 기계는 열 내 셔터를 사용하여 렌즈와 기판을 파편으로부터 보호합니다. 셔터는 또한 선택한 노출 범위 (exposure range) 의 영역을 줄여 스테퍼 처리 속도가 빨라집니다. I11D에는 혁신적인 풀 마스크 검사 시스템 (full-mask inspection system) 이 있어 마스크당 여러 패턴을 검사할 수 있습니다. 이로써, 한 번의 주기로 다양한 패턴을 정확하게 검사할 수 있습니다. I 11 D에는 고급 이미징 및 분석 기능도 있습니다. Windows 기반 개인용 컴퓨터 (프로그램 사용자 지정, 직관적인 사용자 작업) 를 제공합니다. 또한 3D 및 고차 패턴 분석, 급각 마스크 인식, 결함 인식 및 평가, 다중 노출 및 이미징, 마스크 디자인 검증 등의 다양한 소프트웨어 옵션이 있습니다. NIKON i11D는 환경 친화적이며 매우 효율적입니다. 낮은 Ozone Depleting Potential 및 CFC-free 구성과 낮은 전력 소비를 가지고 있습니다. 따라서 운영 비용을 절감할 수 있습니다. 마지막으로, NIKON I 11 D는 내장 안전 인터 록 (Safety Interlock) 및 비상 정지 시스템 (Emergency Stop System) 과 같은 다양한 안전 기능을 사용합니다. 전반적으로 i11D는 빠르고 정밀한 웨이퍼 검사 및 처리를 제공합니다. 고급 이미징 및 분석 기능과 환경 효율성을 제공합니다.
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