판매용 중고 NIKON i11D #9159474

NIKON i11D는 반도체 제조의 photolithography 프로세스에 사용되는 풀 필드 웨이퍼 스테퍼입니다. 광범위한 마스크 크기와 기술을 통해 높은 처리량 (throughput) 과 안정적인 정렬 (alignment) 정확도를 제공할 수 있는 비용 효율적인 솔루션으로 설계되었습니다. NIKON I 11 D는 정교한 선형 모터 구동 스테이지를 특징으로하여보다 정밀한 정렬 및 스테이지 이동이 가능합니다. 또한 12.25 "x 12.25" 베이스, 11 "x 11" 의 큰 척 크기 및 1.00 "의 조리개 크기를 자랑하여 설치의 효율성을 높입니다. I11D는 최고의 성능과 유연성 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 세계 최고 수준의 DMD 센서와 닫힌 루프 서보 (loop servo) 장비를 장착하여 매핑 정확성을 보장합니다. 초저 왜곡 광학 장치 (ultra-low distortion optics) 와 활성 진동 격리 시스템 (Active Vibration Isolation System) 은 웨이퍼 처리량이 가장 높은 경우에도 잘 정렬 된 이미지를 제공합니다. I 11 D는 또한 최대 0.05-0.2 -m의 오버레이 반복성을 지원합니다. NIKON i11D는 고급 운영 및 유지 관리 기능으로 설계되었습니다. 재생이 반복되는 대형 내장 LCD 패널을 통해 "웨이퍼 (wafer)" 를 쉽게 찾아내어 반복 가능한 결과를 확인할 수 있습니다. 이 장치에는 하드웨어 지원 고해상도 스캔 (High Resolution scan) 미리보기도 있으며, 이는 결함을 확인하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 자동 초점 (AF) 기능은 이미지 품질을 더욱 향상시킵니다. 또한 NIKON I 11 D 는 고급 데이터 관리 시스템 (Advanced Data Management Machine) 을 사용하여 운영 프로세스의 이미지 데이터를 분석하고 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 도구는 또한 JPC의 독점 모델 기반 전략 개발을 지원하여 전반적인 수율 성능을 더욱 향상시킵니다. 또한 i11D에는 패턴 인식 및 크기 조절, 다중 색상 패턴 분석, simul matrix 데이터 액세스, 자동 조정 가능 노출 매개변수 등 다양한 지능형 정렬 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 모든 기능은 설치 시간과 문제 해결을 단축할 뿐만 아니라, 일관되고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 또한, 에셋의 기본 제공 정렬 로그를 통해 운영자는 안정된 성능을 위해 시간에 따라 패턴과 인쇄를 추적할 수 있습니다. 마지막으로 I 11 D에는 고급 안전 기능과 내장 이중화가 장착되어 있습니다. 이 모델에는 이중 단계 모션 보호 및 방진 장비가 장착되어 있습니다. 또한 자동 빔 셔터 (beam shutter) 를 사용하여 눈 안전을 보장하고 무단 액세스를 방지하는 식별 메커니즘을 확보합니다. 결론적으로 NIKON i11D는 풀 필드 웨이퍼 스테퍼 (full-field wafer stepper) 로 사진 해설에 필요한 뛰어난 성능과 유연성을 제공합니다. 고급 기능 및 자동 안전 기능으로 설계되어 처리량 향상, 정밀 조정, 반복성 향상 등의 효과를 제공합니다 (영문). 또한 고급 운영 및 유지 보수 (Maintenance) 기능이 내장되어 있어 손쉽게 수표 (Check Wafer), 데이터 관리, 매개변수를 조정하여 안정적인 성능을 제공합니다.