판매용 중고 NIKON i11D #9094100
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판매
ID: 9094100
웨이퍼 크기: 5"
Stepper, 5"
Resolution: 0.35 um
N.A.: 0.63
Exposure light source: i-line
Exposure area: 22 x 22 mm to 17.9 x 25.2 mm
Alignment accuracy: 70 mm.
NIKON i11D 웨이퍼 스테퍼는 반도체 산업의 정확한 요구를 충족시키는 고정밀, 고해상도 리소그래피 머신입니다. 주로 기능이 작은 반도체 칩 제작에 사용됩니다. NIKON I 11 D 웨이퍼 스테퍼는 최첨단 이중 축 정밀 스테이지로 구동되며 6 미크론에서 몇 미크론 크기의 기능을 생성 할 수 있습니다. 통합 왜곡이 없는 optic을 사용하면 수차를 최소화하면서 이미지 품질을 극대화할 수 있습니다. 이를 통해 제조업체는 해상도가 매우 높은 최첨단 칩을 만들 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 정교한 반도체 및 MEMS 장치의 생산을 포함하여 고급 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 3 개의 반자동 노출 필드, 4 개의 개별 노출 및 20 개의 하위 노출이 있습니다. 이것은 비교할 수없는 정확성과 유연성을 가진 복잡한 구조의 제작을 허용합니다. I11D 웨이퍼 스테퍼는 또한 높은 수준의 자동화로 설계되었습니다. 자동 CPU 컨트롤러는 8cm 의 시야를 사용하여 웨이퍼 정렬을 용이하게 하는 데 사용됩니다. 스테퍼는 처리 후 칩 사이의 간격을 자동으로 측정 할 수 있습니다. I 11 D (I 11 D) 는 또한 고도의 정밀도 및 제어로 노출 과정을 정확하게 시뮬레이션 할 수있는 정교한 소프트웨어 패키지를 갖추고 있습니다. 소프트웨어는 각 웨이퍼에 대한 정렬 매개변수를 자동으로 최적화하여 최적의 성능을 보장하도록 설계되었습니다. 이 기계는 또한 자동화 된 도시 메트리 시스템 (dosimetry system) 을 포함하여 여러 자동 프로세스 제어 기능을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 각 칩에 적절한 노출 (exposure) 을 사용할 수 있습니다. NIKON i11D는 쉽게 작동하고 유지 관리할 수 있습니다. 자동화된 유지 보수 (automated maintenance) 프로그램은 높은 수준의 일반 관리 (general care) 및 안정성을 제공하는 반면, 잦은 업그레이드와 철저한 운영자 (operator) 교육은 기계가 최첨단 기술임을 보장합니다. 강력한 기술 지원 팀은 문제 해결 지원 및 처리 조언을 제공합니다. 전반적으로 NIKON I 11 D 웨이퍼 스테퍼는 고급 리소그래피 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 매우 정확하고, 자동화되고, 기능이 포장되어 있으며, 우수하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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