판매용 중고 NIKON i11D #293805260

NIKON i11D는 고급 반도체 장치의 스테핑 및 해결을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 입니다. 광학, 기계, 전자 부품의 고급 기능을 결합하여 NIKON I 11 D 웨이퍼 스테퍼는 다양한 웨이퍼 크기와 프로세스 응용 프로그램으로 작업 할 수 있습니다. i11D 웨이퍼 스테퍼의 기계적 설계는 X/Y 테이블이있는 1 축 모터 드라이브를 특징으로하며, 최적의 노출을 위해 웨이퍼 표면의 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 1 축은 마이크로 스테핑 모터에 의해 구동되며, 컨트롤러와 함께 저항성 모터 인코더로 X/Y 테이블의 최대 6nm 해상도를 허용합니다. 웨이퍼 스테이지는 업계의 표준이며, 총 이동 범위는 320mm X 100mm입니다. I 11 D 웨이퍼 스테퍼는 스퍼터 증착, 열 산화, 패턴 전달을 포함한 광범위한 프로세스 기능을 제공합니다. 두 개의 4 축 동작 시스템 (motion system) 을 사용하여 패턴이 기판으로 정확하게 전송되도록 설계되었습니다. 첫 번째 동작 축은 X/Y 테이블에 마운트되고 마이크로 스테핑 모터에 의해 구동되고, 두 번째 축은 챔버 (chamber) 장치에 장착되어 스핀들 (spindle) 을 구동합니다. 이 조합은 4.0 mm x 40.0 mm의 최대 작업 영역을 제공합니다. NIKON i11D 웨이퍼 스테퍼의 광학 장비는 고해상도 이미징을 위해 설계되었습니다. 시스템은 CCD 카메라와 함께 경사진 빔 조명기 (inclined beam illuminator) 를 사용하여 패턴을 캡처합니다. CCD 카메라는 고해상도 이미징을 위해 설계되었으며, 해상도는 7.5nm입니다. 또한 광학 장치를 UV 레이저 (UV Laser) 와 같은 다양한 이미지 개선 시스템과 통합하여 이미징 기능을 더욱 향상시킬 수 있습니다. 또한 NIKON I 11 D 웨이퍼 스테퍼에는 한 번에 최대 100 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 진공 단계가 포함됩니다. I11D 웨이퍼 스테퍼에는 컴퓨터 사업자, 엔지니어, 기술자가 쉽게 탐색할 수 있는 직관적인 사용자 인터페이스가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 빠르고 정확한 프로세스 설정 및 작동을 지원하는 실시간 GUI (Graphical User Interface) 를 제공합니다. 또한이 도구는 프로세스 레시피를 저장하고 재생산하는 기능을 제공합니다. 전반적으로, I 11 D 웨이퍼 스테퍼는 다양한 프로세스 기능을 제공하는 반도체 fab 용 고급 자산입니다. 고급 기계, 광학 및 전자 부품은 정확한 웨이퍼 처리 및 이미징 (imaging) 을 제공하는 반면, 직관적인 사용자 인터페이스는 효율적인 작동을 보장합니다. 그 기능의 조합으로 인해 제조 산업에 매우 바람직한 장비가 될 수 있습니다 (영문).