판매용 중고 NIKON i11D #293752967

NIKON i11D는 기판의 정밀 처리를 위해 설계된 고급형 웨이퍼 스테퍼입니다. 항상 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하는 고급 기능을 제공합니다. NIKON I 11 D는 석판 처리 및 기판 처리의 요구를 모두 충족하도록 설계되었습니다. 다른 웨이퍼 스테퍼와 비교할 때 가장 높은 정확성과 반복성을 제공하는 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 장비가 특징입니다. 공정 속도 (processing speed) 와 자동 초점 설정 (autofocus settings) 을 조정하여 성능을 최적화하는 새로운 독점 스테퍼 드라이브 시스템을 사용합니다. 또한 I11D에는 양면 플레이트 장착, 자동 정렬 기능, 직관적인 GUI 및 사용자 상호 작용을 개선하는 포괄적인 OPC와 같은 소프트웨어 도구 모음이 포함되어 있습니다. 또한 빠른 기판 로딩 및 언로드를 위해 빠른 스프링 로딩 (spring-loaded chuck) 을 갖춘 고성능 웨이퍼 홀더가 있습니다. 적외선 기반 레이저 간섭계 (Infrared based Laser interferometer) 는 기판의 정밀한 정렬을 허용하며, 고속 위치 지정 테이블은 기판을 더 빠르게 처리 할 수 있습니다. 기판 패턴화를 위해 I 11 D에는 고급 SPE (Substrate Pattern Exposure) 소프트웨어가 있습니다. 이 기능을 사용하면 기판에서 가장 높은 수준의 정확도로 빠르게 설계 (designed) 된 기능을 생성할 수 있습니다. SPE 소프트웨어는 다양한 유형의 석판화 (lithographic) 및 패턴 (patterning) 메타데이터를 읽고 해석할 수 있으며, 수차를 줄이기 위해 정확한 패턴 스티칭 기술을 갖추고 있습니다. NIKON i11D에는 정확하고 반복 가능한 패턴 형성을 보장하기 위해 고급 전기 활성화 마이크로 렌즈 어레이 유닛이 장착되어 있습니다. 또한 이미징 시간을 줄이고, 처리량을 늘리고, 오버레이 성능을 향상시킵니다. NIKON I 11 D에는 기판 처리 중 도구에 전원을 공급할 수 있는 전원 공급 장치도 내장되어 있습니다. 에셋의 모든 주요 컴포넌트는 모델의 센서 (sensor) 에 의해 모니터링되며, 전면 패널 디스플레이 (display) 는 사용자에게 장비 작동에 대한 정보를 유지합니다. I11D 웨이퍼 스테퍼는 최고 수준의 정확성과 반복 성을 갖춘 올인원 (All-in-One) 기판 처리 시스템을 제공하도록 설계되었습니다. 첨단 기능 및 기술로, 모든 정밀 기판 처리 프로젝트에 적합한 강력한 도구입니다.