판매용 중고 NIKON i11D #293627556

NIKON i11D는 최고의 정확도, 정밀도 및 처리량으로 반도체 웨이퍼 제작을 처리하도록 설계된 디지털 칩 스테퍼입니다. NIKON I 11 D에는 웨이퍼 왜곡 및 설치 공간을 최소화하면서 성능을 극대화하는 고급 디자인이 포함되어 있습니다. 디지털 마스크 이미징 기술은 복잡하고, 매우 정밀한 모양을 재현하고, 뛰어난 웨이퍼 CD 정확성과, 정확한 초점과 반복성을 보장합니다. I11D 스테퍼는 대용량 오버레이 스테이지 (Overlay Stage) 를 갖춘 고성능 비플렉트 스캐닝 (Uneflected Scanning) 장비와 통합되어 있으며, 각 고객에게 다양한 작업별 구성 옵션을 제공합니다. 이 단일 플레이트 시스템은 전동식 스테이지, 내부 엘리베이터, 확대/축소 옵틱, 평면 패널 디스플레이 및 직관적인 터치 스크린 컨트롤러를 포함하는 높은 수준의 통합을 제공합니다. 이 장치는 레티클 (reticle) 과 고정밀 측정을위한 고분산 스캐너 (high-distersion scanner) 를 포함하여 다양한 마스크 패턴 및 오버레이 스테이지와 호환됩니다. I 11 D는 또한 광학 기계를 외부 오염, 실시간 결함 검사 기능, 짝수 차폐 커버리지 및 통합 환경 모니터링으로부터 보호하기 위해 중앙 차폐 가스 분사 컨트롤러 (Central shield-gas injection controller) 를 포함하여 오염 위험을 줄이기 위해 고급 안전 기능을 제공합니다. "웨이퍼 '쟁기 장치 는 기본 기질 에 대한" 웨이퍼' 를 효과적 으로 밀봉 하여 부식 의 위험 을 감소 시킨다. 또한 높은 처리량과 프로세스 수율을 보장하기 위해 NIKON i11D는 용량 스캔, 다이 (in-die) 로컬라이제이션, 스테이지 간 일치, 일괄 처리 (batch-to-batch) 일치 등의 프로세스 제어 기능을 제공합니다. NIKON I 11 D는 반도체 웨이퍼 제작을 위해 최고 수준의 안정성, 정확성 및 속도를 충족하도록 설계되었습니다. NIKON 특허 아키텍처 (patented architecture) 는 광학 성능, 정확도 및 처리량을 향상시켜, 고속 실행 시 웨이퍼 결함이 최소화됩니다. 0.08 mm 정도의 얇은 웨이퍼를 처리 할 수있는 스테퍼는 최소 왜곡으로 최대 150 mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 생산성을 극대화하기 위해 I11D에는 고급 작업 처리 자동화 및 오류 복구 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 정확성과 처리량 사이의 합리적인 트레이드오프 (Trade-off) 를 제공하며 특정 고객의 요구에 맞게 확장할 수 있습니다. 스테퍼의 편리한 터치스크린 컨트롤러는 다른 장비와의 원활한 작동과 원활한 통신을 보장합니다. 정확하고 안정적인 웨이퍼 스테퍼 솔루션을 제공함으로써, I 11 D는 칩 프로세싱 요구에 완벽한 선택입니다. 고급 안전 (Safety) 기능과 함께 제공되는 고성능 기능을 통해 최적의 웨이퍼 (Wafer) 제작 결과를 얻어 빠르고 효율적인 배치 (Batch) 제작을 실현할 수 있습니다.