판매용 중고 NIKON i11C #9205853

NIKON i11C 웨이퍼 스테퍼는 고급 집적 회로 웨이퍼의 효율적인 생산을 위해 설계된 자동 사진 석판화 장비입니다. 복잡한 마이크로 장치의 고급 생산을위한 혁신적인 솔루션입니다. I11C 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 NIKON 고정밀 스캔 단계와 최신 분석 기술을 결합하여 탁월한 성능과 비용 절감 효과를 제공합니다. 경쟁력 있는 가격의 자동 사진 시스템은 많은 고급 기능을 자랑합니다. NIKON i11C 웨이퍼 스테퍼는 3 차원 스캔 기술을 사용하여 리소그래피 마스크 및 기판 웨이퍼를 정확하게 정렬합니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 마스크 및 웨이퍼의 고급 광학 및 기계적 정렬을 허용하는 자동 스테이지 제어 장치 (automated stage control unit) 로 우수한 결과를 얻습니다. 이를 통해 스테퍼 (stepper) 의 본체에 마스크를 정확하게 등록할 수 있으므로 턴어라운드 (turn-around) 가 빨라지고 비용이 절감됩니다. I11C 웨이퍼 스테퍼는 또한 포괄적인 스트레스 측정 및 감지 시스템을 갖추고 있습니다. 고급 변형 게이지 머신 (Advanced Strain Gauge Machine) 은 장기 변형, 열 크립 및 급격한 온도 변화로 인한 응력을 감지하고 모니터링 할 수 있습니다. 최첨단 선형 및 회전 인코더는 기판 웨이퍼 및 리소그래피 마스크의 상대 위치를 1 미크론 이상의 정확도로 측정합니다. 이 기능을 사용하면 기판 표면의 미묘한 변화가 빠르게 감지되어 고해상도 패턴 (High-Resolution Pattern) 을 잘못 정렬하지 않고 웨이퍼 (Wafer) 로 정확하게 전송할 수 있습니다. NIKON i11C 웨이퍼 스테퍼는 고급 광학 도구를 사용하여 패턴을 웨이퍼로 전송합니다. 이 자산은 통합 10 메가 픽셀 CCD 센서를 사용하여 0.25 미크론의 해상도로 이미지를 캡처합니다. 또한 CCD 센서는 링 조명 모델 (ring illumination model) 을 갖추고 있어 회로 패턴의 정확한 프로파일을 높은 처리율로 캡처 할 수 있습니다. 통합 스펙트럼 영상 장비 (Integrated Spectral Imaging Equipment) 는 웨이퍼 표면에서 패턴의 모양과 신호를 분석하여 패턴 인식 정확도를 더욱 높입니다. 또한 I11C 웨이퍼 스테퍼 (I11C wafer stepper) 는 포토 리토 그래피 프로세스의 정확성과 반복성을 향상시키기 위해 자동 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 이 자동 장치는 2 카메라, 이중 뷰 프로젝션 머신을 사용하여 마스크를 기판 표면에 정확하게 정렬합니다. 고급 시각 도구 (Advanced Vision Tool) 를 사용하여 모든 스캔을 효과적으로 검사하고 패턴을 정확하게 전송할 수 있습니다. 또한 자동화된 정렬 자산 (Automated Alignment Asset) 은 수작업 (Manual Labour) 을 줄여 회전을 빠르게 하고 비용을 절감할 수 있습니다. NIKON i11C 웨이퍼 스테퍼는 고급 집적 회로 웨이퍼의 고정밀 생산을 위한 강력하고 비용 효율적인 솔루션입니다. 고급 자동화 및 제어 시스템, 뛰어난 이미지 획득, 강력한 응력 및 스트레인 센서 (Stress and Strain Sensor) 를 갖춘 i11C는 생산성 및 생산성 향상을 통한 비용 절감 효과를 제공합니다.