판매용 중고 NIKON i11C #293664633

NIKON i11C
제조사
NIKON
모델
i11C
ID: 293664633
Stepper.
NIKON i11C는 반도체 제조에 일반적으로 사용되는 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 NIKON Regulus 시리즈 웨이퍼 스텝퍼의 일부로, 장치 처리 정밀도, 오버레이 정확도, 비용 효율성이 우수합니다. I11C는 고해상도 이미지, 넓은 심도 필드 범위, 동적 오버레이 사이버광학 (Dynamic Overlay CyberOptics) 을 갖춘 스캔없는 카메라를 포함하는 고급 이미징 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 다양한 기판 및 재료를 최적으로 정렬할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 또한 여러 스테퍼 런에서 일관된 정확성을 유지하면서 노출 시간을 줄이는 고속 CCD 매트릭스 노출 시스템을 보유하고 있습니다. 이러한 일체형 접근 방식은 추가 시스템 또는 외부 장비를 필요로 하지 않습니다. 니콘 i11C (NIKON i11C) 는 스티칭 기술로 인해 뛰어난 해상도와 정확한 오버레이 정확도를 제공하여 주어진 웨이퍼에 겹치는 노출을 허용합니다. 스티칭 단계는 또한 스티칭 마스크 (stitching mask) 및 수동 정렬 단계가 필요하지 않습니다. 또한 웨이퍼 스테퍼는 NIKON Regulus Orientation Detection Technology를 통합하여 정확한 패턴 일치 및 오버레이 정확도를 제공합니다. 이러한 기능을 조합하면 현재 사용 가능한 모든 웨이퍼 스테퍼의 해상도, 성능, 정확도가 가장 높습니다. I11C는 6도 자유의 기울기 축 (tilt axis) 을 가지므로 복잡한 스티칭 및 노출 임무를 정밀하게 실행할 수 있습니다. 기울기 축은 3D 머시닝 작업에 필요한 추가 제어 및 정교함을 제공합니다. 또한, 피치 (fine-pitch) 등록 기능을 통해 도전적인 기하학적 요구사항을 쉽게 수용할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼에는 조사 단위 (irradiation unit) 로 두 배가되는 열이 있으며, 단일 기판에서 복잡한 3D 머시닝 작업을 수행 할 수 있습니다. 또한 마스크 수를 줄이고 이미지 처리 시간을 최적화할 수 있는 스텝 노출 (step exposure) 기능을 제공합니다. 또한 NIKON i11C 는 디바이스 제작에 필요한 프로세스 단계 수를 줄여 주기 (cycle time) 를 단축하고 비용을 절감할 수 있습니다. 또한 i11C 의 고급 자동화 기능을 통해 다운타임 및 설치 시간을 단축할 수 있습니다 (영문). 무중단 처리 기능을 통해 디바이스 구성 작업을 최소화하여 완료할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 의 고성능 알고리즘을 통해 사용자는 실시간으로 상태를 추적할 수 있으므로 문제를 사전에 해결할 수 있습니다. 니콘 i11C (NIKON i11C) 는 반도체 제작을위한 뛰어난 기계로, 다양한 기판 및 재료에서 정확한 장치 처리, 뛰어난 오버레이 정확도, 비용 효율성을 제공합니다. 고급 이미징 및 자동화 기능을 통해 최적의 운영 결과를 얻을 수 있습니다.
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