판매용 중고 NIKON i11C #293600659

NIKON i11C 웨이퍼 스테퍼는 최신 버전의 NIKON 웨이퍼 스테퍼로, 효율적이고 정확한 반도체 생산을 가능하게합니다. 새로운 고출력 프로젝션 렌즈 인 i-LIGHT 렌즈 (i-LIGHT Lens) 가 장착 된 최초의 모델로, 넓은 수치 조리개가있는 선명하고 고해상도 리소그래피를 제공합니다. i11C의 주요 구성 요소는 i-LIGHT Lens ™ 이며, 두 개의 반회전 원통형 미러가 결합되어 있습니다. 이를 통해 0.325의 넓은 수치 조리개와 65nm의 무염 해상도를 달성 할 수 있습니다. 이 투사 렌즈는 빠른 노출로 넓은 저항 두께를 효율적으로 스캔 할 수 있습니다. i11 시리즈는 최적화된 웨이퍼 처리 기능으로 설계되었습니다. 여기에는 표준 반도체 웨이퍼뿐만 아니라 초박형 웨이퍼, MOI (metal-on-insulator) 웨이퍼 등을 효율적으로 처리하는 기능이 포함됩니다. 병렬 처리 및 고급 자동 초점 기술로 정확하고 처리량이 높은 이미징을 사용할 수 있습니다. i11 시리즈는 최적의 웨이퍼 정렬 및 웨이퍼 병합을 보장하기 위해 수많은 정밀 기술을 포함합니다. 최신 HARES (High Aspect Ratio Exposure System) 는 확대 된 노출 영역과 확장 된 다양성 범위를 활용하여 고르지 않은 표면과 가장자리에 웨이퍼를 빠르고 정확하게 정렬합니다. 또한 wafer stepper는 고급 프로세스 제어 및 품질 보장에 필요한 정보를 기록합니다. 스테이지 위치 (stage position), 렌즈 변위 (lens displacement) 및 오버레이 (overlay) 와 같은 조건과 관련된 데이터는 나중에 분석하기 위해 추적 및 저장됩니다. 이를 통해 패턴의 정확성과 재현성을 높일 수 있으며, 이를 통해 NIKON i11C는 고급 반도체 제조의 높은 요구를 충족시킬 수 있습니다. 효율적인 개발 및 운영을 위해 i11C 는 포괄적인 소프트웨어 제품군을 갖추고 있습니다. 여기에는 다양한 프로세스 설계 도구와 유틸리티가 포함됩니다. 또한 네트워킹 기능도 포함되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 다른 NIKON 시스템과의 통신을 통해 사용자는 유연하게 다른 운영 툴과 연결할 수 있습니다. 전반적으로, NIKON i11C는 기존의 웨이퍼 스테퍼에 비해 제어와 정확성이 향상되는 강력하고 다양한 도구입니다. 컨택트 오프닝 (Contact Opening) 및 에칭 단계 프로세스 (Etching Step Process) 와 같은 도전적인 석판화 작업에 이상적입니다. 고성능 프로젝션 렌즈와 최적화된 웨이퍼 처리 (wafer-processing) 기능을 활용하여 반도체 제조를 지원하는 데 필요한 효율성과 정확성을 제공합니다.