판매용 중고 NIKON i11 #9069358
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NIKON i11은 반도체 산업의 리소그래피에 사용되는 2 단계 스캔 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 머신은 고급 패턴 (patterning) 솔루션, 토털 관리 시스템 (Total Management System), 고속 처리량 (High-speed throughput) 과 같은 고급 기능을 통해 높은 처리량, 정확성 및 안정성을 구현하도록 설계되었습니다. 최소 왜곡과 높은 이미지 대비를 갖춘 광시야각 (wide field of view) 을 통해 정확한 이미징을 통해 빠른 노출 시간을 제공합니다. NIKON I 11에는 높은 정확성과 반복 성을 제공하는 스텝 앤 리피트 (step and repeat) 시스템이 장착되어 있습니다. 특정 웨이퍼 (wafer) 환경에 대해 정확한 단일 칩 설정을 사용하여 웨이퍼의 정렬 및 용량을 자동화할 수 있습니다. 또한 미세 경유 (micro via), 트렌치 (trench) 또는 기타 피쳐의 패턴화를 지원하며 처음부터 끝까지 정확한 배치 정확도를 갖습니다. 스테퍼에는 최첨단 이미지 센서가 장착되어 있어 뛰어난 화질을 제공합니다. 고급 광학 및 이미징 기술을 사용하여 경유 (via), 트렌치 (trench), 접촉 구멍, 마이크로 기능 등 모든 유형의 이미징에 대한 패턴 배치 정확도를 최적화합니다. 또한 이미지 센서는 먼지와 정적 (static) 저항을 통해 최고의 이미징 정확도를 제공합니다. I11은 사용 편의성과 접근성을 위해 설계되었습니다. 사용자는 마우스 몇 번의 클릭 (click) 만으로 시스템의 모든 작업을 제어하고 볼 수 있는 고유한 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있습니다. 또한 직관적인 수동 포커스 (manual focus) 모드를 통해 석판 공정을 완벽하게 제어할 수 있습니다. I 11 은 운영 을 돕기 위해 여러 가지 고급 기능 을 제공 한다. 조리개 보정 (aperture correction), 특징 특성 (feature characterization), 라이닝 (lining) 과 같은 다양한 석판화 기술이 적용되어 정확성이 향상되었습니다. 또한 비선형 최적화 최적화 및 적응형 스마트 스캐닝 (Adaptive Smart Scanning) 을 통해 더 빠른 패턴화와 향상된 처리량을 보장합니다. 또한, 넓은 온도 범위, 높은 습도 등 극도로 거친 환경에서 작동 할 수 있습니다. 전반적으로 NIKON i11은 고급 기능을 통해 높은 정확성과 안정성을 제공하도록 설계된 고급 2 단계 스캐닝 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 "머신 '은 사용 하기 쉽고, 리소그래피' 처리 를 모든 종류 의 작업 에 더 쉽고 정확 하게 만드는 여러 가지 기능 을 갖추고 있다.
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