판매용 중고 NIKON i11 #293763323

NIKON i11
제조사
NIKON
모델
i11
ID: 293763323
Stepper.
NIKON i11 웨이퍼 스테퍼 (NIKON i11 wafer stepper) 는 실리콘 웨이퍼 또는 기타 기판에 마이너스 큐 기능을 정확하게 복제하도록 설계된 고급 산업 자동 프로젝션 리소그래피 시스템입니다. NIKON I 11은 고해상도, 대형 시야각 CCD 카메라와 함께 5 배의 축소 확대/축소 광학 감소 장치를 갖춘 고급 스테퍼를 자랑합니다. I11은 상단 및 하단 스티그매틱 정렬 모서리와 함께 진공 웨이퍼 (vacuum wafer) 단계를 사용하여 정확한 패턴 배치 및 오버레이를 가능하게합니다. I 11에는 컴퓨터 제어 현미경 슬라이드가있는 고급 석판화 제어 시스템 (Advanced Lithography Control System) 이 포함되어 있으며, 높은 정밀도와 정확도로 웨이퍼의 패턴 위치를 지속적으로 추적하고 측정합니다. 또한 NIKON i11 에는 다양한 조명 옵션과 다양한 광학 구성 요소가 포함되어 있어 유연하고 정확한 리소그래피 (lithography) 기능을 제공합니다. NIKON I 11은 직관적이고 지능적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 로 설계되어 운영자의 작업을 더욱 쉽고 빠르게 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 사용자는 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface) 를 사용하여 프로세스 전반에 걸쳐 상세한 리소그래피 매개변수를 손쉽게 조정하거나 수정할 수 있습니다. I11은 또한 작은 기능, 고해상도 레티클 및 높은 NA 렌즈 옵션을 제공하여 처리량을 증가시킵니다. I 11 (I 11) 은 시간당 최대 7700 부품의 처리량으로 다양한 포토 마스크 크기와 기능을 제조하도록 설계되었습니다. 이것은 다양한 산업 응용 프로그램, 특히 반 도체 웨이퍼 (semi-conductor wafer) 제조에 적합합니다. NIKON i11의 고해상도 이미징 기술은 패턴 (pattern) 이 0.4 - 1.0hm 범위의 피쳐 배치 정확도로 정확하게 복제되도록 합니다. NIKON I 11은 고급 자가 조정 초점 (self-adjusting focus) 과 일정한 입자 최적화 (constant particle optimization) 를 갖춘 집중형 빔 이미징 기술을 사용하여 가장 작은 기능의 패턴 대비를 증가시킵니다. 또한 i11에는 패턴 일치 (pattern matching) 기술과 내장 프로그램 편집기가 장착되어 있어 복잡한 조명 노출과 반복 가능한 결과가 가능합니다. 전반적으로, I 11은 탁월한 정확성과 정확성을 제공하는 고급 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 다양한 산업 응용 분야에 이상적입니다.
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