판매용 중고 NIKON i10 #293807128
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NIKON i10은 반도체 생산에 사용되는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 처리량은 시간당 최대 450 와퍼이며 스캐닝 노출 (Scanning Exposure) 정렬로 작동합니다. 광학 정렬 확대 (최대 1,120X) 의 석판 광원을 사용하며 0.3 미크론 (미크론) 까지의 작은 기능에 대해 정확하게 작업 할 수있는 기능을 제공합니다. NIKON I 10의 혁신적인 디자인은 정밀한 정렬을 위해 하나의 모듈식 모듈에 모두 있습니다. 조정 가능한 광원 모듈 (Light Source Module) 을 포함하면 변화하는 반도체 산업을 수용하는 데 필요한 유연성을 얻을 수 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 통합 프로세스 모니터링 기능을 패턴화할 수 있습니다. I10 은 두 개의 독립적인 레티클 (reticle) 을 가진 독보적인 설계를 제공하므로, 서로 서로 서로 교환할 수 있어 폭넓은 노출 영역을 확보할 수 있습니다. 이것은 복잡한 패턴에도 균일 한 패턴을 생성하는 통합 된 낮은 k1 및 k2 보정에 의해 도움이됩니다. 즉, 시스템을 중지할 필요 없이 레티클 (reticle) 사이를 전환하는 기능을 통해 생산성을 높일 수 있습니다. I 10은 최적의 상태를 유지하고 오염에 저항하는 진공실 (vacuum chamber) 디자인과 같은 다양한 강력한 안전 기능으로부터 혜택을 받았습니다. 환경안전시스템 (Environmental Safety System) 은 광원실을 보호하고 운영자를 항상 안전하게 보호합니다. 마지막으로, 효율적인 반사 방지 코팅은 안정적인 성능과 높은 수율을 보장합니다. 전반적으로, NIKON i10은 높은 처리량과 정확성을 위해 설계되었으며, 이는 가장 까다로운 반도체 어플리케이션에 적합합니다. 모듈식 설계, 조절 가능한 광원, 강력한 안전 기능으로, 반도체 생산을 위해 안정적이고 비용 효율적인 성능을 제공합니다.
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