판매용 중고 NIKON G7 #293793324

NIKON G7은 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 광학 석판화 스테퍼입니다. 고급 석판화 광학, 정밀도 정렬, 정밀 XY 단계 및 고속 웨이퍼 운송 장비가 장착되어 있습니다. NIKON G 7에는 6M 픽셀 CCD, 강력한 100W 수은 램프 및 0.7의 높은 수치 조리개 (NA) 가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 가장 까다로운 반도체 생산 웨이퍼 (wafer) 구성에서 더 나은 기능을 캡처하고 최고의 처리량을 제공할 수 있습니다. G7에는 두 가지 노출 모드가 있습니다. 빔 스플릿 (beam-splitting) 모드는 포커스 (focused beam) 와 정렬 (alignment) 에 모두 사용되는 단일 빔 (single-beam) 모드입니다. 두 모드 모두 낮은 노출 량과 높은 생산성을 결합하는 독특한 노출 전략을 사용합니다. G 7은 모든 축에서 매우 높은 정밀도를 제공하는 독특한 XY 스테이지 디자인을 특징으로합니다. 고속 속도에서도 2.5 äm의 정확한 정렬 정확도를 사용할 수 있습니다. 또한, 시야의 가장자리는 둥글고 연속적이며, 이미지 품질과 더 나은 웨이퍼 커버리지 (wafer coverage) 를 제공합니다. 스캐닝 장치 (scanning unit) 에는 전체 웨이퍼 전체에서 최대 필드 오버랩과 균일 한 균일 성을 가능하게 하는 큰 스캔 영역이 있습니다. 스캐닝 동작은 3 개의 고도로 고급 하위 스캐닝 시스템 (2 개, 3 개 축으로 스테이지 구동, 1 개) 에 의해 더욱 향상됩니다. NIKON G7의 웨이퍼 전송 머신에는 고속 웨이퍼 클램핑 및 클램핑, 고속 웨이퍼 전송이 있습니다. 모든 드라이브는 선형이며 진동, 소음 및 마모가 제거됩니다. 드라이브 모터는 최대 8 개의 모터 단계를 제공하여 최대 500mm/s 의 속도를 보장 할 수 있습니다. NIKON G 7은 타사의 소프트웨어/제어 시스템과 손쉽게 통합/작동할 수 있는, 본격적인 작업 실행 툴을 갖추고 있습니다. 이 자산은 또한 터치 스크린 작동과 중요 치수 (critical dimension) 및 프로세스 창 측정 (process window measurement) 과 같은 일상적인 테스트 통합을 지원합니다. 전반적으로, G7은 강력한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 고급 반도체 장치 제조를 위해 높은 수준의 정밀도 및 처리량을 제공합니다. 독보적인 기능을 갖춘 이 제품은 모든 운영 제품군에 적합한 선택입니다.