판매용 중고 NIKON G6 #293793323

NIKON G6은 NIKON Instruments Inc.에서 제조 한 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 처리량 (Throughput) 과 낮은 회선 너비 (Low Line Width) 로 다양한 웨이퍼 크기와 다이 (Die) 구성을 정확하게 이미징할 수 있습니다. 반도체 업계의 요구를 충족시키기 위해 설계된 NIKON G 6 는 동작 (motion) 과 화질 (image-quality) 지표의 선형성을 자랑합니다. G6은 2 개의 스캔 단계, 웨이퍼 스테이지 및 검출기 스테이지로 구성된 4 축 장비입니다. 스캐닝 단계 (Scanning Stages) 는 제어 시스템에 의해 결정된 대로 검출기에 대한 웨이퍼의 정확한 위치를 지정합니다. 웨이퍼 스테이지는 공기 베어링 장치 (air bearing unit) 와 미세 피치 리드 스크루 (fine-pitch lead screw) 로 구동되는 진공 밀봉 플랫폼으로 구성됩니다. 탐지기 단계는 셀룰러 이미징 장치를 웨이퍼 스테이지에 정렬하는 다이렉트 드라이브 스테퍼 모터 (direct-drive stepper motor) 에 의해 구동됩니다. G 6은 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 이미징 할 수 있습니다. 이 기계의 XY 해상도는 0.01 µm, Z 해상도는 0.001 äm이며 Z 웨이퍼 대 검출기 클리어런스는 5mm입니다. 또한 NIKON G6의 글로벌 평탄도는 0.5 äm이며, 양이 많고 정확도가 높은 이미징에 적합합니다. NIKON G 6에는 수직 푸리에 변환 렌즈 (Fourier Transform Lens) 및 듀얼 라인 CCD 센서를 포함한 광범위한 통합 광학 목록도 있습니다. 또한 G6 는 다양한 고급 기능과 옵션으로, 정밀 정렬 (precision alignment) 및 이미징에 적합합니다. 이러한 기능에는 자동 조화 도구, 컴퓨터 화 된 1D 노출 제어 기능, 프로그래밍 가능한 레이저 정렬 및 현미경 기능이 포함됩니다. 다른 고급 기능으로는 통합 고속, 전동 XY 스테이지, 이미지 정렬을위한 레지스터 마크, 반복 가능하고 정확한 스캔을위한 fiducial 마크가 있습니다. 또한, G 6은 직경이 최대 8 "인 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 웨이퍼와 검출기 사이의 중요한 정렬을위한 커플 링 에셋을 보유합니다. 또한 노출 시간 및 이미지 셔터 속도를 제어하고, 지터 (jitter) 및 이미지 왜곡 (image distortion) 을 줄일 수 있습니다. 마지막으로 NIKON G6은 원격 제어 및 모니터링을 위한 이더넷 통신 인터페이스를 제공합니다. 니콘 G 6 (NIKON G 6) 은 뛰어난 이미지 품질 지표, 정밀 동작 선형, 다양한 지원 기능을 제공하기 때문에 반도체 산업에 이상적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 구성 요소와 고급 기능을 갖춘 G6 는 뛰어난 처리량을 통해 정확하고 고품질 웨이퍼 (wafer) 이미지를 제작할 수 있습니다.