판매용 중고 NIKON G4D #9144947

NIKON G4D
제조사
NIKON
모델
G4D
ID: 9144947
웨이퍼 크기: 6"
Wafer steppers, 6".
NIKON G4D는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 반도체 산업에서 사용되는 리소그래피 도구의 한 유형입니다. "반도체 장치 '는 정확도가 높고 정확성이 높다. 고급 광학 장비와 정밀 x-y 정렬 기능, 최첨단 컴퓨터 제어 기능 등을 갖추고 있습니다. 고급 광학 구성 요소와 매우 정확한 정렬을 통해, G4D는 매우 높은 해상도의 구조를 만들 수 있으며, x 축과 y 축 모두에서 0.2 미크론 (0.2 미크론) 의 작은 기능을 제공합니다. NIKON G4D의 광학 시스템에는 고수치 조리개 스캔 숫자 조리개 (SNAP) 장치 및 12mm FEA (Field Emitter Array) 어레이가 포함되어 있습니다. SNAP 머신은 이동 가능한 미러 어셈블리, 정확한 초점 다이어프램 (diaphragm) 및 매우 민감한 이미지 어레이로 구성됩니다. 고급 광학 장치 (Advanced Optics) 는 넓고 커스터마이징이 가능한 다양한 기능을 포함하는 선명하고 상세한 이미지를 제작할 수 있으며, 이를 통해 반도체 웨이퍼에 무늬 마스크를 효과적으로 쓸 수 있습니다. G4D의 최첨단 컴퓨터 제어 (state-of-the-art computer control) 는 동기식 step-and-repeat 컨트롤러를 사용하여 각 마스크가 노출되기 전에 제대로 배치되었는지 확인합니다. 이 도구는 또한 복잡한 다중 레벨 스캔 (multi-level scan) 을 조작하여 다양한 결과를 얻을 수 있으며, 이를 통해 다양한 용도로 사용할 수 있습니다. 또한이 장치는 또한 노출 프로세스를 모니터링하고 조정하는 내부 QCS (Quality Control Asset) 를 갖추고 있습니다. NIKON G4D에는 다양한 기능도 있어 리소그래피의 유연성을 제공합니다. 레이저 (laser) 와 전자빔 (electron beam) 을 포함한 다양한 노출 소스뿐만 아니라, 쉽게 패턴화할 수있는 고속 컨투어 프로그래밍 모델이 있습니다. 또한 내장형 교정뿐만 아니라 다양한 온도 및 필름 제어 설정도 제공합니다. 전반적으로, G4D는 고해상도 반도체 장치를 생산하기위한 매우 안정적이고 정확한 석판화 도구입니다. 첨단 옵티컬 장비 (Optical Equipment), 매우 정확한 정렬 기능, 최첨단 컴퓨터 제어 기능으로 최첨단 생산 요구 사항에 적합합니다.
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