판매용 중고 NIKON FX 701 / FX 901 #293661855

NIKON FX 701 / FX 901
ID: 293661855
Steppers.
NIKON FX 701 및 FX 901 웨이퍼 스테퍼는 반도체 웨이퍼에서 하위 미크론 및 나노 스케일 기능을 정확하게 패턴화하도록 설계된 고급 광석판 시스템입니다. 이 시스템은 탁월한 광학 성능을 제공하며, 고급 프로세스 모니터링 기술을 갖추고 있습니다. NIKON FX 701 및 FX 901 시스템은 두 개의 개별 검사 및 제작 (또는 "프로세스") 단계를 사용합니다. 첫째, 광학 프로젝션 시스템은 매우 상세한 스테퍼 렌즈 (stepper lens) 를 사용하여 시장 패턴을 웨이퍼에 이미지화합니다. "렌즈 '조립품 에는 극히 높은 온도 의 안정성 을 포함 하여 몇 가지 특색 있는 특징 이 있는데, 이것 은 석판 인쇄 에 있어서 극히 중요 하다. 두 번째 단계는 광학 레이저-조명 (optical laser-illumination) 을 사용하여 지정된 영역만 노출시켜 웨이퍼의 서브 미크론 (submicron) 기능을 정확하게 패턴화하는 제조 프로세스입니다. FX 701 및 FX 901 시스템은 6 인치 스캔 범위와 더 긴 단계 이동으로 인해 매우 정밀하고 뛰어난 이미징 품질을 제공합니다. 이 뛰어난 이미징 해상도를 통해 NIKON 웨이퍼 스테퍼는 고급 나노 스케일 장치 제작을 위해 매우 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 매우 상세한 하위 아이콘 패턴을 만드는 것 외에도 NIKON FX 701 및 FX 901 스테퍼는 즉석 모니터링을 제공하여 현장 프로세스를 조정할 수 있습니다. 이 고급 프로세스 모니터링을 통해 NIKON 웨이퍼 스테퍼는 오늘날 까다로운 반도체 제작 어플리케이션을 위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. FX 701 및 FX 901 웨이퍼 스테퍼에는 웨이퍼 처리량 및 정확도를 높이는 특허 등록 기능도 포함되어 있습니다. 등록 기능은 웨이퍼를 정확하게 스캔하여 패닝 (panning), 다중 정렬 (multiple alignment) 및 패턴 수정 (pattern correction) 을 포함한 여러 작업을 자동화합니다. 이렇게 하면 프로세스 일관성과 정확성이 더욱 향상됩니다. 전반적으로 NIKON FX 701 및 FX 901 웨이퍼 스테퍼는 반도체 웨이퍼의 정밀 나노 스케일 제작을 위해 설계된 고급 석판 시스템입니다. FX 701 및 FX 901 시스템은 매우 정확한 스테퍼 렌즈, 특수 레이저 조명 기술 및 고급 프로세스 모니터링 시스템을 사용하여 매우 상세한 서브 미콘 패턴을 만듭니다. 또한, 이 시스템에는 웨이퍼 처리량 및 정확도를 높이는 특허 등록 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능의 조합으로 인해 NIKON FX 701 및 FX 901 웨이퍼 스테퍼는 오늘날의 고급 나노 기술 응용 프로그램에 효과적이고 안정적인 도구가 됩니다.
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