판매용 중고 NIKON FX-66S #9387891

NIKON FX-66S는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 또는 스테퍼 (stepper) 유형의 스캐닝 사진 분석 도구로서 NIKON이 개발 한 고급 노출 광학 및 광학/기계 제어 기술을 사용하여 최고 수준의 총 처리량을 실현합니다. 특히, FX-66S는 자율 패턴 정렬 및 오버레이 등록이 가능한 완전 자동화 된 스테이지 시스템을 갖추고 있습니다. 처리량 향상 및 높은 수율 달성. 또한 특허를 받은 광학 엔진을 사용하여 최대 0.5 ° m 해상도의 고해상도 (high resolution) 이미지와 넓은 심도 (field of field) 를 생성합니다. NIKON FX-66S 시스템은 6도 이진 레벨 및 50 회색 비트 레벨 등 다양한 레벨에서 패턴을 생성합니다. 또한 FX-66S 는 고급형 리소그래피 (lithography) 에 필요한 정확성과 안정성을 모두 제공하는 고정밀 close-loop wafer stage 를 사용하며, 최소 수준의 전환을 생성합니다. 또한 고급 패턴 최적화 (pattern optimization) 기능을 통해 주기 시간과 광학 왜곡의 영향을 줄일 수 있습니다. 추가 패턴 해상도와 정확성을 위해 NIKON FX-66S (Integrated PC-Controlled TTL) 옵션은 높은 수준의 노출 균일성을 제공하며, 노출 영역과 주변 영역 사이의 균일성 보증을 제공합니다. 또한 FX-66S에는 강력한 SIPP Mirror Optimizer가 포함되어 있어 최적화된 새로운 Advanced Step 및 Repeat 기능과 함께 중요한 기능의 정확성이 향상됩니다. 이렇게 하면 레이어에 고품질 패턴이 적용되고, 궁극적으로 인쇄 시간을 줄이고, 생산의 품질을 향상시킬 수 있습니다.