판매용 중고 NIKON FX-601F #9398729
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NIKON FX-601F는 고급 리소그래피 프로세스를 가능하게하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 고정밀 반도체 장치의 협업 이미징 및 제작에 이상적인 메커니즘을 제공합니다. NIKON FX 601F는 고급 기술 기능을 활용하여 높은 처리 속도와 안정적인 작동을 통해 최적의 in-plane 성능을 구현합니다. 뛰어난 스텝 앤 리피트 정확도를 포함하여 > = 3-µm 라인/공간의 최고 해상도를 제공합니다. 스테퍼는 전통적인 리소그래피 기반 저항, 이진 (binary) 및 고귀한 층 (layer) 조건을 포함하여 많은 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한, 직경 8 ~ 200 밀리미터 범위의 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 지원할 수 있으므로 정확도와 처리량이 모두 필요한 어플리케이션에 적합합니다. FX-601F의 주요 기능 중 하나는 고급 리소그래피 프로세스를 지원하는 고도로 통합된 MPT (Multi Patterning Technology) 입니다. 이 기술은 마스크 비용을 줄이고, 구성성을 향상시키고, 보다 안정적이고, 정확한 결과를 제공하는 데 도움이 됩니다. 또한, 통합 옵티컬 장비는 높은 수치 조리개 (aperture) 로 높은 화질을 제공하므로 위상 이동 (phase shift) 과 난시 효과 (astigmatism effects) 를 줄일 수 있습니다. 안정적인 작동과 효율적인 웨이퍼 처리를 위해 FX 601F에는 고정밀 정밀 옵틱 스캐너 (optic scanner) 및 3D 프로젝션 시스템이 장착되어 있습니다. 독립 렌즈 시프트 (lens shift) 장치를 사용하면 웨이퍼 및 패턴 크기에 관계없이 최적의 스캔 매개변수와 빠른 스테핑 작업이 가능합니다. 또한, 스테퍼는 고도의 사전 정렬 정확도를 갖는 렌즈 (lenses) 로 설계되어 큰 기판에서 스트레스가없는 (stress-free) 및 매우 정확한 투영을 가능하게합니다. 이 장치에는 작동이 쉽고 반복성이 뛰어난 자동 초점 머신이 내장되어 있습니다. 전반적으로 NIKON FX-601F 는 여러 가지 고급 기능을 갖춘 정교한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 뛰어난 평면 내 성능과 최대 처리량으로 고정밀 리소그래피를 보장합니다. 통합 MPT 및 매우 정확한 구성 요소를 갖춘 NIKON FX 601F는 전문 반도체 제작 및 리소그래피 프로세스를 위한 강력한 선택입니다.
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