판매용 중고 NIKON FX-601F #9241806

NIKON FX-601F는 NIKON Corporation에서 설계 및 개발 한 웨이퍼 스테퍼 머신입니다. 주로 반도체 공정 개발 및 제조를 위해 리소그래피 시스템에 사용됩니다. 이 기계는 광범위한 스테퍼 패턴을 수집 할 수 있으며, 직경 300 밀리미터 (300mm) 의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 다양한 photomask 제조 영역 및 프로세스에 적합합니다. NIKON FX 601F 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 시스템에 제공된 입력 이미지를 처리하는 디지털 이미지 처리 장비가 장착되어 있습니다. 이 장치는 웨이퍼의 정확한 패턴 복제를 위해 압축, 자르기, 마스크, 잘라내기와 같은 리소그래피 프로세스를 적용합니다. 입력 패턴은 3 채널 광전 센서로 감지되어 이진 패턴 데이터로 변환됩니다. 데이터는 증폭, 매끄럽게 만들기, 필터링, 마침내 웨이퍼로 인쇄됩니다. FX-601F 웨이퍼 스테퍼는 향상된 선형 인코더 및 브로드캐스트 서보 드라이브 모터로 정확하고 빠른 인쇄 기능을 제공합니다. 이 기계는 선/공간 패턴, 펄스 전자 패턴, 겹치는 패턴, 접촉 구멍 패턴 등 다양한 패턴을 생성 할 수 있습니다. 0.2 m 주소 해상도의 211 x 211 mm의 넓은 머시닝 영역이 특징입니다. 인쇄된 패턴의 정확도와 균일성은 웨이퍼 서피스 평탄도 (wafer surface flatness) 정확도와 단계 속도에 따라 달라집니다. FX 601F 웨이퍼 스테퍼에는 마스크 패턴을 보호하기 위해 필름 보호 머신이 장착되어 있습니다. 이 도구는 외부 힘 (external force) 으로 인해 필름의 파손을 감지하고 인쇄를 중지하여 패턴의 손상을 방지합니다. 이 기계는 또한 인쇄 된 패턴의 품질을 보장하기 위해 고감도 자동 초점 에셋 (auto focus asset) 을 갖추고 있습니다. 이 기계에는 웨이퍼 처리 및 포토 마스크 제조를위한 모든 프로그램을 저장하는 레시피 데이터 베이스가 내장되어 있습니다. NIKON FX-601F 웨이퍼 스테퍼는 쉽게 작동하고 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. 간편한 웨이퍼 로드 및 언로드 작업을 제공하는 정교한 Docking 스테이션이 있습니다. 그래픽 작업 메뉴가 있는 인체 공학적으로 설계된 사용자 인터페이스 패널 (User Interface Panel) 을 사용하면 효율적인 작동을 위해 시스템 매개변수를 쉽게 설정할 수 있습니다. NIKON FX 601F 웨이퍼 스테퍼는 정밀도가 높은 다양한 패턴 모양을 처리 할 수 있습니다. "포토마스크 '제조 및 반도체 처리 에 이상적 인 기계 로서, 손쉬운 유지비 와 생산비 를 공급 하기 때문 이다. 이 기계의 도움으로 고수율 포토 마스크 제조를 수행 할 수 있습니다.