판매용 중고 NIKON FX 501D #9412549

NIKON FX 501D는 웨이퍼 및 기타 평면 장치 제조를위한 대형 형식의 스테핑 노출 기계입니다. 이 제품은 융합 실리카 (silica), 쿼츠 (quartz), 단일 크리스탈 실리콘 (single crystal silicon), 알루미늄 (aluminum) 등 다양한 물질에서 고품질 다이 (die) 및 장치 노출을 지속적으로 생산할 수있는 독특한 스캐닝 기술을 갖추고 있습니다. NIKON FX-501D에는 메커니즘 본체와 광학의 두 가지 주요 부품이 있습니다. 기계의 본체에는 스테퍼 모터 (stepper motor), 인라인 노출 장비 (in-line exposure equipment) 및 다양한 동작 및 속도가 가능한 드라이브 시스템이 포함되어 있습니다. 이 "모터 '는 일련의" 기어' 에 의하여 구동 되며 광학 의 위치 를 조절 하는 선형 "액추에이터 '에 연결 된다. optics 섹션은 고수치 조리개 렌즈 장치와 CCD 어레이 카메라로 구성됩니다. 광학 장치 (optics) 를 사용하면 적절한 노출 설정을 사용하여 노출 프로세스를 시작할 수 있습니다. 이 프로세스는 재료 및 노출 제어 매개변수 (material and exposure control parameters) 에 따라 조정할 수 있습니다. FX 501D에는 고밀도 다이 패턴 개발을 지원하는 프로그래밍 가능한 웨이퍼 스테퍼가 장착되어 있습니다. 스텝 모터의 노출 설정, 온도, 전원을 제어하여 노출 프로세스를 자동화합니다. 스테퍼는 패턴 위치와 선 너비의 높은 정확성과 반복성을 보장합니다. FX-501D는 모든 노출 설정에서 +/- 2 um 의 노출 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 넓은 시야와 고해상도를 제공합니다. 이를 통해 기계는 미세한 세부 사항과 복잡한 미세 구조를 생성 할 수 있습니다. 또한 다양한 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있는 다양한 '노출 (Imposure)' 기능을 제공합니다. NIKON FX 501D에는 최적의 결과를 위해 노출 설정과 모터 속도를 규제하는 지능형 제어 머신 (Intelligent Control Machine) 이 장착되어 있습니다. 제어 도구 (Control Tool) 는 다양한 재료 및 프로세스의 요구에 맞게 노출 프로파일을 조정할 수 있습니다. 이외에도 폭로과정의 안정성에 영향을 줄 수 있는 이상 (이상) 에 대한 포괄적인 보호 (보호) 를 제공한다. NIKON FX-501D 는 노출 프로세스에 대한 제어 온도 환경을 제공하는 내장형 공랭식 (air-cooled) 팬으로 구동됩니다. 이는 노출 과정에서 높은 정확성과 정확성을 보장하며, 제품 생산량이 향상되고, 품질이 높아집니다. 또한, 기계에는 직관적 인 컴퓨터 인터페이스 (computer interface) 가 장착되어 있어 쉽게 작동하고 데이터를 입력할 수 있습니다. 결국, FX 501D 는 강력한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로서 노출 프로세스를 정확하게 제어하고 뛰어난 성능을 제공합니다. 광범위한 노출 기능, 높은 수준의 정확성, 탁월한 보호 기능 등으로 다양한 운영 애플리케이션에 적합합니다 (영문).