판매용 중고 MOOG MURPHY N.C E12003590 #9216911
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MOOG MURPHY N.C E12003590은 실리콘 웨이퍼를 테스트 장비에 정확하게 배치하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. MOOG 스테퍼는 각 웨이퍼를 정확하고 반복적으로 포지셔닝 할 수있는 독특한 디자인을 갖추고 있습니다. 스테퍼에는 2 개의 다이렉트 드라이브 스테퍼 모터 축 (direct drive stepper motor axes) 이있는 큰 1 차 스테이지가 있으므로 x 축과 y 축 모두에서 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 1 차 단계 는 공기 분리 장치 (air isolator) 에 장착 되는데, 이것 은 기계적 인 간섭 을 제거 하고 부드럽고 정확 한 운동 을 한다. 기본 단계는 또한 고해상도 스테퍼 피드백 (stepper feedback) 시스템을 통해 온보드 컴퓨터에 대한 정확한 포지셔닝 피드백을 제공합니다. 스테퍼에는 2 개의 2 차 단계 세트가 있으며, 각 2 개의 주 축 (x축 및 y축) 에 하나씩 있습니다. 이러한 2 차 단계는 서보 방식이며, 정확한 위치 조정이 가능한 고해상도 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 보조 단계 (secondary stages) 에는 축의 동작을 미세하게 조정하기 위한 각속도 서보도 있습니다. 스테퍼에는 과전압 방지, 과전압, 과열, 과전류 방지 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 또한, 스테퍼에는 자동 레티클 중심 시스템 (reticle centering system) 이 있으며, 자동으로 테스트 장비에 웨이퍼를 중앙에 배치하고 빠르고 반복 가능한 위치를 허용합니다. 온보드 컴퓨터에는 작업을 제어하기 위해 미리 프로그래밍된 루틴 라이브러리가 있으며 수동 (manual) 및 자동 (automatic) 작업을 모두 허용합니다. 스테퍼 제어 (Stepper Control) 소프트웨어는 스테퍼의 작동을 단순화하는 구성 기능이 뛰어나고 사용자 친화적 인 인터페이스입니다. E12003590 은 안정적이고 정확한 웨이퍼 스테퍼로, 다양한 웨이퍼 테스트 어플리케이션에 적합합니다. 최고 품질의 컴포넌트 (component) 로 제작되었으며 다양한 기능을 갖추고 있어 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 (wafer) 포지셔닝을 위한 완벽한 선택이 가능합니다. 또한 모듈식 (modular) 설계를 통해 유지 보수 및 업그레이드가 용이해지며, 다양한 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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