판매용 중고 MIDAS MDE-20000 #9215486

MIDAS MDE-20000은 사진 촬영에 사용되는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로 다양한 3D 모양과 구조를 기판에 이미지화합니다. 이 장치는 두 가지 별개의 구성 요소로 구성됩니다. 투영 장치 (projection unit) 와 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 는 UV (ultra-violet) photolithography를 사용하여 기판의 모양을 정의합니다. MDE-20000 투영 장치는 최대 5 미크론 (5,000 nm) 의 정확도로 0.25 미크론 (250 nm) 의 해상도를 갖는 구조를 정의 할 수 있습니다. 프로젝션 장치에는 스캐닝 (scanning) 광학 장비와 레이저 소스 (laser source) 가 있으며, 이 소스는 원하는 모양 패턴을 웨이퍼에 투영하는 데 사용됩니다. 프로젝션 장치의 광학은 이미징 영역 전체에서 0.1% 이상의 강도 균일성을 제공하도록 설계되었으며, 최대 직경 (20 mm) 까지 노출 필드를 투영하는 데 사용할 수 있습니다. MIDAS MDE-20000 웨이퍼 스테이지는 투영 단위 아래의 웨이퍼 또는 기판을 이동할 수 있습니다. 웨이퍼는 2 차원 모터 구동 스테이지로 고정되며 X 축과 Y 축 모두를 따라 이동하도록 조정 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 에는 닫힌 루프 모터 제어 시스템 (closed-loop motor control system) 도 포함되어 있습니다. 웨이퍼 스테이지의 위치는 최대 0.5 미크론 (500 nm) 의 정확도로 측정 할 수 있습니다. MDE-20000 은 또한 사용자 (user) 와 장치 (device) 가 방사선을 손상시킬 수 없도록 보호하는 포괄적인 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능에는 안전 셔터 (Safety Shutter) 및 비상 전원 차단 장치 (Emergency Power Cut-off Machine) 와 함께 사용자의 안전을 보장하기 위해 장치의 온도 및 광도를 모니터링하는 센서 세트가 포함됩니다. MIDAS MDE-20000은 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로 다양한 사진 분석 응용 프로그램에 적합합니다. 이미징 해상도, 정확도, 안전 기능이 결합된 MDE-20000은 고밀도 이미징 요구에 이상적인 솔루션입니다.