판매용 중고 KONICA MINOLTA Range 5 #9256713

KONICA MINOLTA RANGE 5는 포토 마스크 제작, 웨이퍼 제작, 연구 및 개발과 같은 고급 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 고해상도 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 이 시스템은 동급 최고의 성능을 제공하면서 다양한 프로세스 (process) 를 수용할 수 있는 유연성을 유지하도록 설계되었습니다. 이 장치는 VUV Metrology-ON Detector Ex UV Beam Source를 사용하여 시야에서 균일하고 무지개 같은 가우시안 강도 프로파일을 투영합니다. 투영 된 "이미지 '는 매우 안정 되어 있어서 기계 내 의" 웨이퍼' 를 정확 히 배치 할 수 있다. 이 도구는 최소 선폭이 10nm 인 고해상도 리소그래피를 자랑합니다. 구형 수차에 대한 보상을 통해 초점 깊이도 490nm (490nm) 로 증가하여 가장 훌륭한 세부 사항을 정확하게 재현 할 수 있습니다. 에셋은 또한 넓은 깊이의 필드 (field) 를 특징으로하며, 어느 방향으로든 웨이퍼를 최대 6mm까지 이동할 수 있습니다. 이 모델에는 자동 정렬 (Automated Alignment) 장비가 장착되어 있어 설치 시간이 빠르고 간편합니다. 이 시스템은 시중의 다른 어떤 장치와도 일치할 수 없는 정확성과 일관성 (Consistency) 을 위해 설계되었습니다. Range 5 Wafer Stepper는 고급 photolithography 프로세스에 적합하며 웨이퍼 제작, photomask 제작 및 기타 연구 및 개발 활동에 적합한 도구입니다.