판매용 중고 KOMATSU G20K2-1 #9095924

KOMATSU G20K2-1 (KOMATSU G20K2-1) 은 고성능 웨이퍼 스테퍼로, 이미지 전송 프로세스에 대한 높은 정밀도로 포토마스크를 정확하게 배치하고 정렬하도록 설계되었습니다. 이 견고하고 통합 된 웨이퍼 스테퍼는 FPLD (Field Programmable Logic Device) 와 멀티 샘플 크로스헤어 카메라를 사용하여 포토마스크를 정확하게 찾고 포토마스크의 샘플 영역을 참조하는 정확한 크로스헤어를 만듭니다. 동작 및 제어 장치와 결합 된 FPLD는 KOMATSU G 20 K 2-1이 포토 마스크를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이 단위는 X 축과 Y 축의 웨이퍼 위치를 측정하고 동적 제어를 위해 연속 (continuous) 데이터를 생성합니다. 고급 조명 소광 회로가 장착 된 환경 안경 빔 센서는 정확한 측정을 위해 데이터를 캡처합니다. G20K2-1에는 포토 마스크의 정확한 마이크로 정렬을 용이하게하기 위해 2 세트의 마이크로 미터가 장착되어 있습니다. 마이크로미터는 0.1mm마다 포토마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 사이의 거리를 측정하고, 데이터는 컨트롤 장비와 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로 보내져 포토마스크의 위치와 정렬을 조정합니다. 모터 구동 모터는 마이크로미터 구동에 사용됩니다. G 20 K 2-1에는 자동 초점 시스템과 레이저 정렬 장치도 장착되어 있습니다. 자동 초점 장치는 CCD 카메라를 사용하여 포토마스크의 초점 길이와 관련된 데이터를 캡처합니다. 이 데이터를 사용하여 photomask 및 wafer 사이의 거리를 조정하여 포커스를 정확하게 확인할 수 있습니다. "레이저 '정렬 장치 는" 빔' "센서 '를 이용 하여" 웨이퍼' 가장자리 에서 "포토마스크 '에 있는 십자선" 이미지' 를 분석 한다. 이 데이터는 노출 프로세스가 시작되기 전에 photomask 위치를 수정하는 데 사용됩니다. 코마쓰 (KOMATSU) G20K2-1 (G20K2-1) 은 포토 마스크 위치 및 정렬의 정확도를 더욱 향상시키기 위해 첨단 분석 및 교정 알고리즘을 활용하여 크로스 셰어 이미지의 스팟 결함을 제거합니다. 또한, 다른 노출 매개 변수를 수용하도록 FPLD를 프로그래밍 할 수 있습니다. KOMATSU G 20 K 2-1에는 통합 진단 및 모니터링 시스템도 장착되어 있습니다. 이 도구는 기계의 성능을 모니터링하고 개선을 제안합니다. 또한, FPLD 및 동작 및 제어 장치 (motion and control unit) 의 모든 데이터와 매개변수를 중앙 스테이션 (central station) 으로 전송하여 전체 자산을 원격 제어 및 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, G20K2-1은 이미지 전송 프로세스에 뛰어난 성능과 정확성을 제공하도록 설계된, 고급적이고 견고한 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 기능과 기술로 모든 포토 마스크 (photomask) 노출에 가장 정확한 결과를 보장합니다.