판매용 중고 KOMATSU G20K2-1 #9095922

ID: 9095922
빈티지: 2002
KrF Laser scanner 2002 vintage.
KOMATSU G20K2-1 웨이퍼 스테퍼는 습식 에칭 공정에서 안정적인 작동을 위해 설계된 정밀 기계입니다. KOMATSU G 20 K 2-1은 광석기 공정을 위해 특별히 만들어진 300mm 도구입니다. 상단 장착 화상 상자, 서브 오번 (sub-auburn) 및 상단 리프트 플레이트가 있으며, 모두 습식 에칭 과정에서 정확도를 최대화하도록 특별히 설계되었습니다. 서브 오번 (sub-auburn) 은 완벽한 온도 및 화학 환경을 제공하여 단단히 제어되고 균일 한 에칭 프로세스를 제공합니다. G20K2-1 (G20K2-1) 은 자동 스트로브 제어 장치 (automatic strobe control device) 를 사용하여 웨이퍼 두께에 따라 노출 시간을 자동으로 조정하여 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리를 지원합니다. 그 용해도는 단단한 차원 공차로 일관된 결과를 만들어내는 반면, 위치 등록 장비는 높은 수준의 정확도를 제공합니다. 이 외에도, 고급 마이크로 로드 메커니즘은 더 큰 정확도와 향상된 위치 안정화 (positional stabilization) 를 제공하여 최종 웨이퍼의 품질을 향상시킵니다. G 20 K 2-1은 광택이 있고 완전히 균질 한 표면을 생성하는 습식 에칭 공정을 사용합니다. 3 단계 마스킹 프로세스와 결합 할 때, 이것은 매우 정확한 레지스터 및 치수 제어를 제공합니다. 또한, 폐쇄 루프 배경 자동 초점 시스템 (closed-loop background autofocus system) 은 초점 드라이브를 제어하여 이미징이 항상 올바르게 집중되도록 하는 데 효과적입니다. KOMATSU G20K2-1에는 다양한 기능이 있으며, 이 기능은 용도에 적합합니다. 예를 들어, 고급 포토 파워 장치 (advanced photo power unit) 는 노출 시간을 줄이고 웨이퍼에 마모를 줄이며 웨이퍼 척 (wafer chuck) 회전 보상과 보안 로딩 머신 (secure loading machine) 은 웨이퍼 무결성 및 정확성을 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, 통합 클리닝 암은 잔해와 다운타임을 최소한으로 유지합니다. 전반적으로 KOMATSU G 20 K 2-1 웨이퍼 스테퍼는 photolithographic 프로세스에 이상적인 안정적이고 정확한 기계입니다. 고급 기능은 효율적이고 정확한 웨이퍼 (wafer) 처리를 가능하게 하며, 차원의 정확도를 높여 다운타임을 최소화하면서 고품질의 최종 제품을 제공합니다.
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