판매용 중고 KOMATSU G20K2-1 #9095919

KOMATSU G20K2-1은 반도체 처리에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 고정밀도 및 고성능 웨이퍼 스테퍼 작동을 위해 설계된 최첨단 장비입니다. 시스템은 Machine Unit, Optical Machine, Step Adjustment Tool 및 Control Asset의 네 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 기계 모델은 XY 단계, 3 상 직접 구동 모터, 빔 및 진공 척으로 구성됩니다. XY 단계 (XY stage) 는 웨이퍼 (wafer) 가 배치되고 빔이 정확하게 위치하여 스텝의 조명 장비에 웨이퍼를 노출 할 수있는 대형 플랫폼입니다. 3 상 다이렉트 드라이브 모터 (direct drive motor) 는 빔의 속도를 정확하게 제어하여 진동 또는 속도 변동으로 인한 결함을 줄이는 데 도움이됩니다. 노출 과정에서 빔과 진공 척이 웨이퍼를 보호합니다. KOMATSU G 20 K 2-1의 광학 시스템 (Optical System) 은 웨이퍼의 고해상도 이미지를 캡처하기 위해 x 방향과 y 방향으로 움직일 수있는 두 개의 독립 카메라로 구성됩니다. 이 도구는 웨이퍼 (wafer) 에서 가장 작은 피쳐의 이미지를 정확하게 캡처하고 각 피쳐의 정확한 좌표를 스테퍼 (stepper) 로 제공하여 원하는 패턴을 높은 정확도로 인쇄 할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 이 장치는 노출 된 웨이퍼에 대한 최적의 이미징 조건을 보장하기 위해 조정 가능한 3 가지 광원으로 구성된 조명기 (lumination machine) 를 갖추고 있습니다. G20K2-1의 단계 조정 도구 (Step Adjustment Tool of G20K2-1) 를 사용하면 스텝의 위치를 빠르게 조정하고 초점을 맞추면 원하는 패턴이 웨이퍼에 정확하게 인쇄됩니다. 이 에셋을 사용하면 인쇄된 패턴이 피쳐 좌표 (feature coordinates) 에 정확하게 정렬되어 원하는 효과를 얻을 수 있습니다. 마지막으로, G 20K 2-1의 제어 모델은 CPU와 모니터로 구성됩니다. CPU는 스테퍼의 다양한 구성 요소와 기능을 관리하며, 모니터는 이미지 처리 (imaging process) 를 실시간으로 표시할 수 있습니다. 이 장비는 또한 사용자에게 친숙한 인터페이스 (interface) 를 제공하여 사용자가 스테퍼의 매개변수와 설정을 보다 쉽게 제어할 수 있습니다. 결론적으로 KOMATSU G20K2-1은 고정밀 및 고성능 작동을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 도구는 4 가지 핵심 구성 요소로 구성되어 있어 웨이퍼에 정의된 패턴을 정확하고 신속하게 생성 할 수 있습니다.