판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC 1000W #189541

KARL SUSS / MICROTEC 1000W
ID: 189541
Lamp house.
KARL SUSS/MICROTEC 1000W는 디지털 리소그래피 처리에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 기술 환경에서 중간 규모 볼륨을 생산할 수 있는 유연하고 경제적인 스테퍼입니다. MICROTEC 1000W 는 다양한 리소그래피 (lithography) 프로세스의 요구를 충족하기 위해 다양한 하드웨어/소프트웨어 옵션을 갖추고 있습니다. 가변 조명 시스템 (Variable Illumination System) 을 갖춘 향상된 광학 장비를 통해 가장 다양한 고급 이미징 기술을 제공합니다. KARL SUSS 1000W에는 자동 초점 장치 (automatic focusing unit) 도 장착되어 있어 프로세스 정확성과 신뢰성을 유지할 수 있습니다. 이 기능은 더 큰 웨이퍼를 처리할 때 특히 유용합니다. 즉, 스테퍼가 자동으로 포커스를 조정하여 해상도를 유지할 수 있기 때문입니다. 1000W는 2D ODL (external optically-directed lithography) 및 MCL (maskless contact lithography) 을 포함하여 광범위한 고급 프로세스를 지원하도록 설계되었습니다. 스테퍼는 또한 UV 투영 기술을 사용하여 3D 리소그래피 (lithography) 를 수행 할 수 있으며, 더 높은 처리량으로 더 작은 기능을 허용합니다. 또한 KARL SUSS/MICROTEC 1000W에는 사용자 친화적 인 제어 인터페이스가 장착되어 있어 기계를 쉽게 관리하고 최적화할 수 있습니다. 내장 SEMS 분석 소프트웨어는 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하며, 이를 통해 오류 원인을 파악하고 제거할 수 있습니다. 반복 가능하고 정확한 처리를 위해 MICROTEC 1000W는 실시간 오버레이 측정 도구와 같은 향상된 옵션 기능을 제공합니다. 에셋에는 처리 중인 기판 (Substrate) 유형에 따라 노출 매개변수를 조정하는 자동 조정 기능 (auto-tune feature) 도 포함되어 있으므로 잦은 교정 단계가 필요하지 않습니다. 전반적으로 KARL SUSS 1000W는 고급 석판화 응용 프로그램을위한 효율적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 광범위한 이미징 기술과 완벽한 프로세스 제어를 제공합니다. 또한 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하는 다양한 옵션 (option) 이 장착되어 있어 고급 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 부품의 대용량 생산에 이상적입니다.
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