판매용 중고 INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING MK3 #9380735

통합 다이내믹스 엔지니어링 MK3 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치를 제조하는 데 사용되는 고정밀 기계입니다. 포토 리토 그래피 (photolithography) 프로세스를 사용하여 패턴을 웨이퍼 표면으로 전송합니다. 이 스테퍼는 50 미크론 미만의 기능 크기를 달성 할 수 있으며, 이는 나노미터 규모의 전자 부품을 생산하는 데 이상적입니다. MK3의 중심에는 이미징 장비가 있습니다. 이 시스템은 광원 (Light Source), 렌즈 유닛 (Lens Unit) 및 웨이퍼 (Wafer) 에 빛을 집중시키는 빔-셰이핑 기술로 구성됩니다. "이미징 '기계 는" 마스크' 에서 원하는 "패턴 '을" 웨이퍼' 로 정확 하게 재현 할 수 있다. 또한 원하는 피쳐를 생성하기 위해 광도 (light intensity) 와 빔 (beam) 크기의 분포를 제어합니다. 또한 "웨이퍼 스테퍼 '에는 정밀 동작 조절 도구 가 장착 되어 있는데, 이것 은 리소그래피" 패턴' 이 "웨이퍼 '에 정확 하게 배치 되도록 한다. 동작 에셋에는 3 차원 공간에서 웨이퍼를 정확하게 이동할 수있는 3 축 모터 컨트롤이 있습니다. 삽입물의 속도, 가속도 및 감속도 또한 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 스테퍼에는 몇 가지 안전 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 깨끗하고 안정적인 생산을 보장하기 위해 입자 수준을 낮추는 오염 제어 모델 (contamination-control model) 이 포함됩니다. PLC (programmable logic controller) 는 잠재적 인 기계 오작동을 방지하기 위해 장비를 모니터링하는 데 사용됩니다. PLC는 또한 비활성 기간 동안 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 의 작동을 제어하기 위해 사용되며, 환경 조건 및 시스템 상태에 대한 자동 응답을 허용합니다. 전반적으로, INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING MK3는 고품질 반도체 부품을 생산하도록 설계된 안정적이고 정확한 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 이미징 (Advanced Imaging) 및 동작 제어 시스템 (Motion Control System) 을 통해 정확하고 정확한 리소그래피 및 동작 제어를 수행할 수 있습니다. 이 스테퍼는 또한 최첨단 안전 (최첨단 Safety) 기능을 통합하여 기계의 가장 안전하고 안정적인 작동을 보장합니다.