판매용 중고 ICOS T 102 #9154670

ICOS T 102는 고급 반도체 리소그래피 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 ICOS Vision Systems Corporation의 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 생산에 이상적인 다양한 기능을 갖추고 있습니다 (영문). 이 기계의 핵심은 소멸 램프 (high-extinction lamp), 최적화 렌즈 시스템 (optimized lens system), 고해상도 디지털 서보 모터 (digital servo motor) 및 드리프트 (drift) 를 제한하고 반복성을 향상시키기 위해 설계된 회전 단계로 구성됩니다. 이 기계에는 인터페이스 카드, 소프트웨어, 포지셔너 (positioner) 등 다양한 반도체 프로세스를 수용할 수 있는 다양한 옵션 구성 요소가 함께 제공됩니다. T 102에는 스캔 및 이미징 속도를 향상시키는 2 빔 시스템이 있습니다. 두 개의 빔 (beam) 은 서로 다른 웨이퍼 영역을 동시에 노출시켜 처리량을 증가시키는 데 사용됩니다. 이 시스템은 또한 전체 시야에서 높은 품질을 제공할 수 있습니다. "렌즈 '의 설계 는 또한 고도 의 정확도 와 해상도 를 허용 한다. ICOS T 102 는 다양한 포지셔너를 활용하여 스캐닝 (scanning) 필드 내에 웨이퍼를 정확하게 배치합니다. 포지셔너의 주요 구성 요소는 Leveler, Stage Rotator 및 Wafer Gradient Tracker입니다. 스테이지 로테이터 (Stage Rotator) 는 웨이퍼를 신속하게 전환하는 반면, 레벨러 (Leveler) 는 정확성과 반복성을 담당합니다. 웨이퍼 그라디언트 추적기 (Wafer Gradient Tracker) 는 컴퓨터 뷰 내에서 웨이퍼의 정확한 위치를 확인하는 데도 사용됩니다. T 102 는 고해상도 이미징 폴더 (folder) 를 사용하여 고급 반도체 프로세스를 위한 고해상도 이미징 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 "머신 '에는 자동" 웨이퍼' 장전 장치 가 장착 되어 있어서 스캐닝 과정 이 시작 되기 전 에 "웨이퍼 '를 빠르고 정확 하게 정렬 할 수 있다. 이 기계는 다양한 웨이퍼 (wafer) 와 호환되며 반도체 생산에 사용되는 다양한 재료를 처리하도록 설계되었습니다. 또한 안정적이고 안전한 작동을 보장하기 위해 많은 안전 (Safety) 기능이 장착되어 있습니다. ICOS T 102 는 다운타임을 최소화하면서 높은 성능을 제공하도록 설계되어 반도체 리소그래피 (lithography) 애플리케이션에 이상적인 제품입니다.