판매용 중고 ICOS T 102 #9152988

ICOS T 102 웨이퍼 스테퍼 (ICOS T 102 wafer stepper) 는 웨이퍼 당 높은 처리량과 저렴한 비용으로 높은 정밀 결과를 얻도록 설계된 리소그래피 장비 유형입니다. 시스템은 투영 광학 (Projection Optics) 을 사용하여 웨이퍼 표면에 고품질 이미지를 생성하면서 생산 비용을 절감합니다. 이 장치에는 고급 2 스캔 (advanced 2 scan) 및 자동 레벨링 시스템 (auto-leveling system) 과 같은 여러 플랫폼 구성이 포함되어 있어 정확한 노출 정렬이 가능합니다. 또한 통합 정렬 기계, 자동 초점 제어, 고속 노출 시퀀스 제어가 포함됩니다. T 102에는 프로세스 유연성을 극대화하기 위해 Smart Reticle/Mask Changer가 있습니다. 이 기능을 사용하면 여러 유형의 제품 웨이퍼에 여러 마스크/레티클을 사용할 수 있습니다. 이 도구는 전체 배치 처리를 위해 최대 6 "웨이퍼를 스캔 할 수도 있습니다. 자동화된 사전 정렬을 통해 빠르고 쉽게 레티클 위치를 지정할 수 있습니다. 자동 초점 스마트 측정 (Auto Focus Smart Measure) 과 스마트 색인 (Smart Index) 은 형상 위치 및 자동 초점 유연성 기능을 인식하여 최대 해상도와 이미지 세부 사항을 허용합니다. ICOS T 102는 또한 초점 제어를 개선하기 위해 8 인치 깊이 필드를 갖춘 고급 광학 구조를 제공합니다. 자동화 된 투영 접촉이 특징이며, 레티클에서 웨이퍼로 패턴을 효과적으로 전송합니다. 이 기능을 사용하면 왜곡과 노이즈를 줄일 수 있습니다. 자산은 자동 열 제어 (Automated Thermal Control) 와 완벽하게 호환되므로 뛰어난 이미징을 위해 연속적이고 일관된 히터 온도를 보장합니다. 빠르고 정확한 결과를 얻기 위해 모델에는 자동 보정 (auto calibration), 마킹 센서 자동화 (automation of marking sensor), 이미지 모니터 (image monitor) 와 같은 여러 성능 향상 기능도 포함되어 있습니다. 통합 교정/검사 유틸리티는 멀티플레이퍼 전체에서 안정적인 이미지 품질을 보장합니다. 이 장비에는 노출 시간 최적화 기능 (Exposure Time Optimization Feature) 이 있어 노출 시간을 정확하게 제어할 수 있으며, 보다 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. T 102 웨이퍼 스테퍼 (T 102 wafer stepper) 는 안정적이고 견고한 시스템으로, 다양한 기능과 성능 향상 기술을 갖춘 높은 정확도와 처리량을 제공합니다. 자동 열 제어 (automated thermal control) 기능을 통해 성능을 일관되게 유지할 수 있으며, 레티클 체인저 (reticle changer) 는 뛰어난 화질을 제공하면서 상당한 프로세스 유연성을 제공합니다. 이 장치는 다양한 운영 애플리케이션에 적합하므로 비용 절감, 고객 만족도 향상 (CS) 에 도움이 됩니다.