판매용 중고 ICOS LI 7250S #9163805
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ICOS LI 7250S는 생산 석판화에서 탁월한 성능을 제공하기 위해 설계된 최첨단 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 모듈식 장비 (modular equipment) 구성으로, 빠르고 비용 효율적인 생산이 가능한 통합 및 개방형 아키텍처를 갖추고 있습니다. 고해상도 (최대 25nm) 광 스캐닝 및 고급 소프트웨어 제어 기능을 갖춘 LI 7250S는 업계 최고의 처리량을 제공합니다. ICOS LI 7250S에는 수동 로딩에서 자동 로봇 처리 (automated robot handling) 에 이르기까지 다양한 샘플 포지셔닝 옵션이 있습니다. 또한 사용자는 고유한 "Probeless Loading" 기능을 통해 처리 시간과 비용을 줄일 수 있습니다. 또한 스텝은 여러 개의 빔 (beam) 모드와 스캐닝 (scanning) 모드를 제공하여 처리량을 최적화하고 높은 믹스 생산을 위해 더 높은 수율을 달성합니다. 또한 LI 7250S는 자동 빔 정렬, 노출 동기화, 스테퍼 노이즈 감소 등 다양한 EC (Exposure Control) 기능을 제공합니다. 모든 EC 기능은 사용자에게 친숙한 GUI 로 제어됩니다. ICOS LI 7250S는 최고 해상도 (3X) 옵틱을 실행할 때 최대 25nm의 해상도를 제공합니다. 0.6X 옵티컬 감소 기능은 또한 더 큰 시야에서 더 빠른 노출을 가능하게합니다. 또한 스테퍼는 Rectilinear, Stepping, Step & Repeat 및 Image Scan과 같은 다양한 샘플 스캔 모드를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 High-Mix 생산에 가장 높은 처리량을 달성할 수 있습니다. LI 7250S에는 혁신적인 APC (Automated Process Control) 장치가 장착되어 있어 스테퍼 매개변수의 실시간 자동 최적화가 가능합니다. 이 머신은 예측 알고리즘과 데이터 분석 소프트웨어 (data analysis software) 를 사용하여 프로세스 조건을 즉각적이고, 정확하며, 정확하게 제어합니다. 또한 APC 도구를 사용하면 생산량을 극대화하고 운영 실행을 효율적으로 관리할 수 있습니다. ICOS LI 7250S는 안정성과 내구성을 위해 설계되었으며, 이더넷, GPIB, 직렬 및 USB를 통해 안전하고 안정적인 연결을 제공합니다. 또한, 제어 소프트웨어, 스테퍼 네트워킹, 스테퍼 모니터링 프로브 (stepper monitoring probe) 와 같은 스테퍼 자체를 제어하는 다양한 옵션이 제공됩니다. 또한 저용량 빔 종료 (beam shutdown) 및 내부 컨트롤러 종료 (controller shutoff) 와 같은 고급 안전 기능을 제공합니다. LI 7250S는 비용 효율적인 웨이퍼 스테퍼로, 생산 석판화에서 탁월한 성능을 제공합니다. 모듈식 자산 구성, 고급 EC (Exposure Control) 기능, APC (Automated Process Control) 모델 및 다양한 고급 옵션이 있습니다. 이것은 하이 믹스 프로덕션 실행에 이상적인 선택입니다.
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