판매용 중고 HITACHI LD-5011iA #9359431

HITACHI LD-5011iA Stepper는 고급 반도체 생산에 이상적인 고속, 고정밀 마이크로 프로세싱 기계입니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 웨이퍼 프로세싱의 뛰어난 출력과 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. LD-5011iA의 고급, 완전 자동화 기능에는 3 축 레이저 투영 제어 장비가 포함되어 있으며, 이는 0.25 m를 초과하는 패턴 해상도에 대한 레이저 빔을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 레이저 투영 제어 (Laser Projection Control) 시스템은 배치 정확도를 향상시키고 메타 스티칭 패턴을 더 빠르게 처리 할 수 있습니다. 또한 특허를받은 고정밀도 파동 초점 탐지 메커니즘이 특징이며, 이는 웨이퍼의 광학 왜곡으로 인한 잘못된 정렬을 방지합니다. HITACHI LD-5011iA는 25 인치 영역 단계에서 초당 10,000 단계의 최고 속도로 작동하여 빠르고 정확하게 스캔합니다. 정밀도 스캐닝을 여러 필드 포인트에 걸쳐 최적화할 수 있는, 정확도가 높은 슈팅 제어 장치 (shooting control unit) 가 함께 제공됩니다. LD-5011iA의 3축 제어기는 노출 오류를 최소화하며, 다중 노출이 사용되는 경우에도 높은 정확도를 제공합니다. HITACHI LD-5011iA에는 최대 12 인치 웨이퍼를 수용 할 수있는 웨이퍼 핸들러가 장착되어 있습니다. 이 기능은 여러 웨이퍼의 로드로 인한 손상 또는 오염을 제거합니다. 결합 된 웨이퍼 전송 도구는 또한 여러 웨이퍼를 처리해야 할 때 처리량을 증가시킵니다. LD-5011iA 스테퍼는 고속 성능, 뛰어난 제어 자산, 초정밀 레이저 투사 모델 등으로 인해 이상적인 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 고급 자동 (automated) 기능을 통해 가장 복잡한 작업을 빠르고 정확하게 처리할 수 있습니다. 시스템의 고성능 웨이퍼 핸들러는 여러 웨이퍼를 로드하고 언로드하기 위해 DownTime 을 최소화합니다. 또한 HITACHI LD-5011iA 의 첨단 기술 (Advanced Technology) 은 정밀 제품의 생산이 빨라짐으로써 제조 분야에서 우위를 점하고 있습니다.