판매용 중고 HITACHI LD-5011iA #9130224

HITACHI LD-5011iA (HITACHI LD-5011iA) 는 높은 화질과 높은 수준의 프로세스 균일성을 제공하도록 설계된 완벽한 기능의 웨이퍼 스테퍼입니다. LD-5011iA 는 리소그래피 (lithography) 프로세스를 최적화하고 일관된 결과를 얻도록 설계된 여러 가지 핵심 기능으로 설계되었습니다. HITACHI LD-5011iA에는 수치 렌즈 조리개가 1.2인 ROL (Reduction Objective Lens) 이 장착되어 있으며, 웨이퍼의 확대되고 매우 상세한 이미지를 제공합니다. 현미경은 또한 독특한 초점 메커니즘 (focusing mechanism) 과 로우 프로파일 트랩 렌즈 밸런스 (low-profile trap lens balance) 설정을 특징으로하여 노출 과정에서 배율이 이동하지 않습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 자외선 (UV) 과 가시 파장 (visible wavelength) 을 포함하여 여러 유형의 조명을 처리하여 다양한 종류의 석판 프로세스에 적합합니다. 스테퍼는 또한 독특한 이중 방향 서보 셔터 메커니즘을 특징으로하며, 석판 공정의 각 단계마다 안정적인 노출 시간을 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 또한 레이저 간섭계 (laser interferometer) 가 장착 된 매우 정밀한 자동 초점 장비를 갖추고 있으며, 다양한 웨이퍼 높이를 수용 할 수 있습니다. LD-5011iA 의 최대 해상도는 1.67äm 이며, 다양한 처리 요구를 수용할 수 있습니다. 또한 사용자가 다양한 작동 조건에서 포커스를 정확하게 조정할 수 있도록 자동 포커스 (focus) 설정을 사용하여 사용자 정의 포커스 측정 장치를 만드는 소프트웨어 옵션 (Software Option) (옵션) 을 제공합니다. 또한 시스템 소프트웨어는 포괄적인 기능 제어 (feature control) 기능을 제공하여 사용자가 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 HITACHI LD-5011iA 는 사용자 친화적인 스테퍼로 설계되어, 직관적인 대화 방식의 사용자 인터페이스를 제공하여 설정과 작동을 더 쉽게 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 또한 빠른 인덱싱 및 안전한 샘플 처리와 함께 신뢰할 수있는 전달 메커니즘을 특징으로하여 높은 생산 수율을 제공합니다. LD-5011iA (LD-5011iA) 는 완전 자동화되고 신뢰할 수 있는 웨이퍼 스테퍼로, 다양한 석판 공정에 사용할 수 있습니다. 다양한 기능을 통해 석판화 (lithographic) 프로세스를 최적화하고 안정적이고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 안정적인 집중력을 갖춘 HITACHI LD-5011iA는 대용량 운영 환경에 적합합니다.