판매용 중고 GIGAPHOTON / KOMATSU G20K2 #293653984

ID: 293653984
KrF Laser scanner.
GIGAPHOTON/KOMATSU G20K2 웨이퍼 스테퍼는 반도체 산업에서 웨이퍼에 정확한 패턴을 만들기 위해 사용되는 고정밀 석판화 장비입니다. 패턴 화 된 UV 광원을 사용하여 웨이퍼 표면에 정확한 모양의 마스크를 생성합니다. KOMATSU G20K2는 공기 시스템, 온도 조절 장치, 진공 기계 및 전원 공급 도구를 포함하는 정교한 인프라 (최대 20mm 크기) 를 갖추고 있습니다. GIGAPHOTON G20K2 (GIGAPHOTON G20K2) 에는 리토그래피 에셋과 관련하여 웨이퍼를 정확하게 정렬하기 위해 중심 장치를 사용하는 고해상도, 정밀 웨이퍼 스테이지가 장착되어 있습니다. 이것은 웨이퍼 표면에서 균일 한 패턴화를 보장하고 높은 수율을 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, 선택적 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 를 사용하여 여러 웨이퍼를 로드하고 쉽게 조작할 수 있습니다. G20K2는 사진 및 e-beam 리소그래피를 포함한 다양한 노출 기술을 지원할 수 있습니다. 사진 기법은 크기가 5 나노 미터에서 1 마이크로 미터 사이의 기존의 자외선을 사용합니다. 전자 빔 리소그래피는 1 ~ 4 나노 미터 범위의 전자 빔을 사용하여 약간 더 정확합니다. GIGAPHOTON/KOMATSU G20K2는 다양한 웨이퍼 직경을 수용하도록 설계되었으며, 최대 450mm 크기의 기판과 호환됩니다. 또한, 자동 레시피 재로드 및 자동 마스크 정렬 (Automatic Mask Aligner) 조정과 같은 기능을 통해 모델이 매우 자동화되었습니다. 이것은 인간의 오류를 줄이고 일관된 결과를 보장하는 데 도움이됩니다. 마지막으로, KOMATSU G20K2에는 석판화 챔버 (lithography chamber) 의 빠르고 쉬운 청소, 자동 시스템 수리, 원격 모니터링 옵션 등 다양한 장비 유지 보수 옵션이 제공됩니다. 이러한 기능은 다운타임을 최소화하고 효율적인 운영을 보장합니다. 전반적으로, GIGAPHOTON G20K2는 다양한 기술과 직경의 웨이퍼에 정확한 패턴을 생성 할 수있는 안정적이고 정확한 웨이퍼 스테퍼 유닛입니다. 정교한 설계 및 자동화 (automation) 기능을 통해 일관성을 보장하고 가동 중지 시간을 줄여 모든 반도체 (semiconductor) 생산 라인에 적합한 제품입니다.
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