판매용 중고 GCA XLS 7800 #9382955

GCA XLS 7800은 광범위한 제조 프로세스를 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비에는 최첨단 옵티컬 엔진과 고성능 XY 스테이지 (XY stage) 가 장착되어 있어 다양한 기판에 걸쳐 빠르고 정확도가 높은 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 작업이 가능합니다. XLS 7800은 단색 레이저 광원과 초당 8 인치 스캔 (스캐닝) 을 특징으로하여 처리량을 높이고 부분 간 오버레이 정확도를 향상시킵니다. 빔 스팟 크기는 하드 콘택트 사진 촬영 (hard contact photolithography) 및 레이저 제거 (laser ablation) 를 포함한 다양한 노출 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. 이 시스템은 최대 24 개의 작업을 동시에 처리할 수 있으며, 작업 제출 및 관리를 위해 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있습니다. GCA XLS 7800은 또한 가장 복잡한 패턴에 대해 고정밀 (high-precision) 조정을 달성하기 위해 고성능 자동 노출 기능을 갖추고 있습니다. 정렬의 빠른 속도와 정확성은 큰 기판에서 빠른 처리 (quick processing) 및 최소한의 전파 오류를 보장합니다. 자동 노출은 또한 단계 간 빠른 전환을 가능하게하며, 처리량을 더욱 최적화합니다. XLS 7800에는 매우 낮은 진동 플랫폼과 정확하고 반복 가능한 처리량을 보장하는 글로벌 유닛 컨트롤러 (Global Unit Controller) 가 포함되어 있습니다. 이 기계는 최상위 석판 학적 안정성을 보장하며, 자동 초점 기능 및 효율성 향상으로 인해 모든 작업의 정확성이 높아집니다. 이 도구는 또한 유전체 코팅 및 웨이퍼 슬라이싱 (wafer slicing) 을위한 통합 옵션을 제공하여 자동 기능을 추가합니다. 간단히 말해, GCA XLS 7800은 처리량과 정확도를 극대화하기 위해 설계된 자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 최첨단 옵틱, 고성능 XY 스테이지, 레이저 스캐닝, 자동 노출, 유전체 코팅 및 웨이퍼 슬라이싱 (wafer slicing) 용 통합 옵션이 결합하여 대형 기판에서 빠르고 정확하며 반복 가능한 결과를 보장합니다.