판매용 중고 GCA / ISI ALS 200 #21478

GCA/ISI ALS 200은 집적 회로 (IC) 생산에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 이것 은 시속 200 "웨이퍼 '의 처리량 으로 작동 하는" 스테퍼' 형 기계 이다. 이 장비는 단계 및 반복 (step and repeat) 기술을 사용하여 짧은 시간 내에 효과적으로 생산합니다. GCA ALS 200은 두 단계의 조명을 통해 웨이퍼를 공급합니다. 첫 번째 단계 에서, "웨이퍼 '는 광원 으로 조명 되어" 웨이퍼' 에 옮길 층 을 나타내는 점 들 의 "패턴 '을 만들어 낸다. 두 번째 단계는 웨이퍼를 노출시키는 데 사용되는 투영입니다. 이 단계에서 웨이퍼는 고속 X-Y 스테이지로 이동하고 생성 된 패턴은 흐려지지 않고 웨이퍼 (wafer) 로 이동합니다. 성공적인 노출로 인해 웨이퍼에 전기 경로가 생성됩니다. ISI ALS 200은 포지셔닝에서 매우 정확하고 정확합니다. X 방향과 Y 방향에서 정밀도 1 미크론 (1 미크론) 으로 웨이퍼 전체 표면에 표시를 정확하고 정확하게 배치 할 수 있습니다. 또한 웨이퍼의 스테이지 위치 제어를 위해 두 가지 제어 모드 (control mode) 가 있습니다. 마이크로 프로세서 폐쇄 루프 위치 제어 모드 (micro-processor closed loop position control mode) 와 컴퓨터 비전 열기 루프 제어 모드 (computer vision open loop control mode) 가 있습니다. 또한 ALS 200은 외부 요구 사항에 따라 조작 가능한 조정 가능한 노출 설정을 제공합니다. 주파수 (Frequency) 옵션을 사용하면 UV 및 로우 라이트 레벨 응용 프로그램을 추가로 조정할 수 있습니다. 또한 노출 모니터링, 웨이퍼 정렬, 데이터 스토리지 등을 제공하며 다른 시스템 (예: 필름 추적기, 자동화) 과 통합될 수 있습니다. 마지막으로, GCA/ISI ALS 200은 구매 및 초기 설치와 관련하여 완전한 사용자 정의를 허용합니다. 여기에는 사용자 정의 마스크, 필름 카세트 (film cassette), 진공 로더 (vacuum loader) 가 모두 옵션으로 제공되며, 수동으로 시스템을 원격으로 업로드 및 제어하는 기능이 포함됩니다.