판매용 중고 GCA DSW 8500SE #9252320
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ID: 9252320
Stepper
Lens: TROPEL 2142G (436 nm), DFAS, PPC, 5x Reduction
Illumination: Theta III, insitu, maxi 2000 pulsed
Lamp power: Rated 1050 W
MIMIR 4105 Optical energy controller
Includes:
HVAC Unit (R12)
GCA 6660S Environmental chamber
Chiller
Spare parts
~1992 vintage.
GCA DSW 8500SE는 반도체 제작에서 다양한 응용 분야에 적합한 단계 및 반복 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 장비입니다. 이 시스템에는 넓은 스펙트럼 감도, 초고해상도 (Ultra High Resolution), 정확한 패턴 배치, 빠른 처리량 등의 기능이 로드되어 있습니다. 기계의 민감하고, 깊은 UV 광학 (deep-UV optics) 과 고급 광학 이미징 (optical imaging) 기술을 통해 광범위한 포토 esist를 광범위한 파장과 다양한 레이어 두께에 노출 할 수 있습니다. 이것은 고급 석판 프로세스에서 사용하도록 최적화되었습니다. 정확한 스테퍼 모터 구동 x-y 스테이지는 전체 웨이퍼 전체에 정확한 패턴 배치를 허용합니다. 이를 통해 서브 미크론 정확도로 정렬하고 등록 할 수 있습니다. DSW 8500SE의 석판화 이미징 정밀도는 다양한 이미지 강도 및 스케일 범위에서 유지됩니다. 기계 의 견고 한 기계 "디자인 '을 통해, 다른 기계 로부터의 진동 에 노출 되더라도, 장치 는 매우 높은 정확도 로 작동 할 수 있다. 진공 밀폐 스테이지는 스테퍼 작동 중 최적의 웨이퍼 안정성을 보장하며, 처리량 및 신뢰성을 향상시킵니다. GCA DSW 8500SE는 빠른 처리량을 제공하며, 웨이퍼 로드 시간은 2 분 미만으로 탁월한 필름 균일성과 이미지 배치 안정성을 제공합니다. 또한 고급 이미징 기능을 통해 간단한 이미지 확장과 고급 오버레이 (overlay) 공차를 사용할 수 있습니다. 이 시스템의 사용자 친화적 기능에는 조절 가능한 광도 (light intensity) 를 위한 컨트롤 패널과 노출 매개변수를 빠르게 조정하기 위한 읽기 쉬운 디스플레이 스크린 (display screen) 이 포함됩니다. 또한 자동 기능 (옵션) 을 사용하여 공구를 자동화할 수도 있습니다. 전반적으로, DSW 8500SE는 광범위한 스펙트럼 감도, 정밀도, 속도 및 사용자 친화적 인 기능으로 인해 반도체 제작을위한 웨이퍼 스테퍼를 선택할 수 있습니다. 이 자산은 안정적이고 안정적인 사진 (photolithography) 모델을 필요로 하는 고객에게 이상적인 선택이며, 고급 (advanced) 과 열 (thermal) 성능을 제공합니다.
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